利亙通國際有限公司張建文獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉利亙通國際有限公司申請的專利晶圓自動測試系統的開放式測試頭獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114200179B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111081523.X,技術領域涉及:G01R1/073;該發明授權晶圓自動測試系統的開放式測試頭是由張建文設計研發完成,并于2021-09-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓自動測試系統的開放式測試頭在說明書摘要公布了:一種晶圓自動測試系統的開放式測試頭,系由固定支架輔助,將彈簧針介面模組及儀器機箱設置于晶圓自動探針臺上方,快速建構一種無機柜的晶圓自動測試系統,既可縮減晶圓自動測試系統的重量與體積,節省廠房空間使用,且儀器機箱可以近距離電連接彈簧針介面模組,這樣能夠縮短測試訊號線的長度,有助于提升測試儀器的性能表現。此開放式測試頭,可以擺脫習知封閉式測試頭的機殼束縛,改善自動測試系統的散熱,并且可以降低晶圓自動測試系統的研發成本,也更容易進行自動測試系統的硬體維護與功能擴充升級。
本發明授權晶圓自動測試系統的開放式測試頭在權利要求書中公布了:1.一種晶圓自動測試系統的開放式測試頭,其特征在于,包括: 一晶圓自動探針臺,包含一升降機構并設置一固定支架; 一彈簧針介面模組,設置于該固定支架;及 至少一儀器機箱,設置于該固定支架,且該儀器機箱位于該彈簧針介面模組上方,該儀器機箱電連接該彈簧針介面模組; 由此,可以透過該固定支架的輔助,將該儀器機箱及該彈簧針介面模組分別設置于該晶圓自動探針臺上方,不需要將測試硬體全部封裝包覆于一個封閉式的測試頭機殼內,擺脫了測試頭機殼的束縛且更好的進行硬體維修及升級擴充;此外,開放式測試頭的散熱更良好且減少散熱風扇所造成的噪音振動或電磁雜訊干擾。
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