先導薄膜材料(廣東)有限公司周桂媚獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉先導薄膜材料(廣東)有限公司申請的專利一種濺射靶材研磨裝置及加工方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113732835B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111116516.9,技術領域涉及:B24B5/04;該發明授權一種濺射靶材研磨裝置及加工方法是由周桂媚;劉佰玲;胡智向;童培云;朱劉設計研發完成,并于2021-09-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種濺射靶材研磨裝置及加工方法在說明書摘要公布了:本發明涉及靶材加工技術領域,公開了一種濺射靶材研磨裝置及加工方法,所述濺射靶材研磨裝置包括機架和研磨用砂輪,所述機架的一端可移動地設有尾頂,所述機架的另一端對應所述尾頂可轉動地設有工作頭,所述工作頭上設有工裝夾具,所述工裝夾具內可拆卸地插接有靶材套筒,所述砂輪可移動地設置在所述工裝夾具與所述尾頂之間。采用本發明濺射靶材研磨裝置及加工方法,研磨靶材內徑時在工裝夾具上安裝靶材套筒,然后將靶材坯料固定在靶材套筒內進行內表面的研磨,避免了其在研磨過程中的圓跳動,不僅方便對內表面進行研磨,而且研磨外表面時也不用多次研磨,從而提高了對長管形濺射靶材的研磨精度及研磨速率,提高了產品合格率,降低了成本。
本發明授權一種濺射靶材研磨裝置及加工方法在權利要求書中公布了:1.一種濺射靶材研磨裝置,其特征在于:包括機架和研磨用砂輪,所述機架的一端可移動地設有尾頂,所述機架的另一端對應所述尾頂可轉動地設有工作頭,所述工作頭上設有工裝夾具,所述工裝夾具內可拆卸地插接有靶材套筒,所述砂輪可移動地設置在所述工裝夾具與所述尾頂之間; 所述靶材套筒包括相連接的主體部和夾持部,所述主體部的橫截面為圓形,所述夾持部的橫截面為弧形; 所述機架上設有驅動機構,分別用于驅動所述砂輪沿濺射靶材的軸向及徑向進行移動,以及用于驅動濺射靶材旋轉,實現所述砂輪對濺射靶材內、外表面的研磨; 所述靶材套筒上設有緊固組件; 所述緊固組件包括均布于所述靶材套筒上的若干螺紋孔和設于所述靶材套筒另一端內壁的端面固定扣,所述螺紋孔內螺紋連接有螺栓; 所述端面固定扣設置在所述夾持部,所述螺紋孔設置在所述主體部。
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