東京毅力科創株式會社河西繁獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利載置臺、檢查裝置和檢查方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114496838B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111212812.9，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權載置臺、檢查裝置和檢查方法是由河西繁;太田智浩設計研發完成，并于2021-10-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本載置臺、檢查裝置和檢查方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種載置臺、檢查裝置和檢查方法。本發明的載置臺，其上表面載置處理對象的器件，包括：具有所述器件的載置面的頂板；對所述頂板進行加熱的加熱單元；多個溫度傳感器，其在俯視時的所希望的測量位置獲取所述頂板的溫度；和定位單元，其與所述溫度傳感器電連接，將所述溫度傳感器定位在俯視時的所述測量位置，所述定位單元由具有撓性的柔性電路板構成。根據本發明，能夠在不降低檢查裝置中的載置臺的構造上的強度的同時，減小檢查對象的器件的實際溫度與由溫度傳感器測量的上述器件的測量溫度之間產生的差。
本發明授權載置臺、檢查裝置和檢查方法在權利要求書中公布了：1.一種載置臺，其上表面載置處理對象的器件，該載置臺的特征在于，包括： 具有所述器件的載置面的頂板； 對所述頂板進行加熱的加熱單元； 多個溫度傳感器，其在俯視時的所希望的測量位置獲取所述頂板的溫度；和 定位單元，其與所述溫度傳感器電連接，將所述溫度傳感器定位于俯視時的所述測量位置， 所述定位單元由具有撓性的柔性電路板構成， 在所述頂板的背面側形成有凹部，所述溫度傳感器通過所述定位單元而配置在該凹部的內部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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