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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利檢查裝置和探針的研磨方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114487524B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202111209613.2，技術領域涉及：G01R3/00；該發(fā)明授權檢查裝置和探針的研磨方法是由小林將人設計研發(fā)完成，并于2021-10-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本檢查裝置和探針的研磨方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供檢查裝置和探針的研磨方法。檢查裝置用于對檢查對象基片進行檢查，包括：檢查用載置臺；輸送機構；載置研磨用基片的研磨用載置臺，研磨用基片用于對在檢查時與基片接觸的探針進行研磨、且具有可由輸送機構輸送的形狀和大小；使檢查用載置臺移動以相對于探針進退的第1進退機構；和使研磨用載置臺移動以相對于探針進退的第2進退機構，研磨用載置臺是在檢查用載置臺以外另外設置的，檢查用載置臺的退避區(qū)域與研磨用載置臺的退避區(qū)域在俯視時位于將探針夾在中間的相反側的位置，第2進退機構構成為：使得研磨用基片中的與該研磨用基片的退避區(qū)域側相反的一側在俯視時能夠與探針重疊，而該研磨用基片的退避區(qū)域側在俯視時不能與探針重疊。

本發(fā)明授權檢查裝置和探針的研磨方法在權利要求書中公布了：1.一種檢查裝置，其為用于對檢查對象基片進行檢查的檢查裝置，其特征在于，包括： 用于載置所述檢查對象基片的檢查用載置臺； 至少能夠輸送所述檢查對象基片的輸送機構； 用于載置研磨用基片的研磨用載置臺，所述研磨用基片是用于對在檢查時與基片接觸的探針進行研磨的部件、并且具有能夠由所述輸送機構輸送的形狀和大小； 第1進退機構，其用于使所述檢查用載置臺移動，以使所述檢查用載置臺相對于所述探針進退；和 第2進退機構，其用于使所述研磨用載置臺移動，以使所述研磨用載置臺相對于所述探針進退， 所述研磨用載置臺是在所述檢查用載置臺以外另外設置的， 所述檢查用載置臺的退避區(qū)域與所述研磨用載置臺的退避區(qū)域，在俯視時位于將所述探針夾在中間的相反側的位置， 所述第2進退機構構成為：使得被載置在所述研磨用載置臺上的所述研磨用基片中的、將該研磨用基片在俯視時分成2部分時作為與所述研磨用載置臺的所述退避區(qū)域側相反的一側的跟前側在俯視時能夠與所述探針重疊，而作為所述研磨用載置臺的所述退避區(qū)域側的里側在俯視時不能與所述探針重疊， 所述檢查裝置還包括用于使所述研磨用載置臺旋轉的旋轉機構， 能夠利用所述旋轉機構和所述第2進退機構，使得被載置在所述研磨用載置臺上的所述研磨用基片中的所述里側的在俯視時不能與所述探針重疊的區(qū)域，成為所述跟前側的區(qū)域而在俯視時能夠與所述探針重疊。

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