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龍圖騰網獲悉中節能萬潤股份有限公司申請的專利用于光刻膠中光酸產生劑浸出量測定的裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114994260B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210797276.1，技術領域涉及：G01N33/00；該發明授權用于光刻膠中光酸產生劑浸出量測定的裝置及方法是由陳帥;劉文昭;付海超;鄒廣輝;周勇;吳同川設計研發完成，并于2022-07-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于光刻膠中光酸產生劑浸出量測定的裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及用于光刻膠中光酸產生劑浸出量測定的裝置及方法，所述的裝置包括承載盤、軟墊片、壓蓋和輸水泵，所述承載盤的上表面設有通水凹槽，所述軟墊片設有通水孔，所述通水孔與所述通水凹槽的上表面形狀完全相同，所述軟墊片置于所述承載盤的上表面，所述通水孔與所述通水凹槽位置重合，所述軟墊片的上表面放置晶圓，晶圓涂有光刻膠的一面與所述軟墊片貼合，所述承載盤上設有進水口和出水口，所述通水凹槽的兩端分別與所述進水口和出水口相通，所述輸水泵通過輸水管與所述進水口相通，所述晶圓的上端壓合所述壓蓋。所述的裝置結構簡單，可以給光刻膠中光酸產生劑浸出量的測定帶來極大的便利。

本發明授權用于光刻膠中光酸產生劑浸出量測定的裝置及方法在權利要求書中公布了：1.用于光刻膠中光酸產生劑浸出量測定的裝置，其特征在于，所述的裝置包括承載盤（1）、軟墊片（2）、壓蓋（3）和輸水泵（4），所述承載盤（1）的上表面設有通水凹槽（5），所述軟墊片（2）設有通水孔（6），所述通水孔（6）與所述通水凹槽（5）的上表面形狀完全相同，所述軟墊片（2）置于所述承載盤（1）的上表面，所述通水孔（6）與所述通水凹槽（5）位置重合，所述軟墊片（2）的上表面放置晶圓（7），晶圓（7）涂有光刻膠的一面與所述軟墊片（2）貼合，所述承載盤（1）設有進水口（8）和出水口（9），所述通水凹槽（5）的兩端分別與所述進水口（8）和出水口（9）相通，所述輸水泵（4）通過輸水管（10）與所述進水口（8）相通，所述晶圓（7）的上端壓合所述壓蓋（3）； 所述承載盤（1）的上表面設有至少一個通水凹槽（5），所述軟墊片（2）設有至少一個通水孔（6），所述通水凹槽（5）和所述通水孔（6）的數量相同，所述通水孔（6）與所述通水凹槽（5）的上表面形狀及位置完全匹配契合； 所述承載盤（1）的上端設有承載槽（11），所述軟墊片（2）和晶圓（7）置于所述承載槽（11）內，所述承載槽（11）的形狀與所述軟墊片（2）的形狀完全相同，所述軟墊片（2）的形狀與所述晶圓（7）的形狀完全相同。

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