長電科技(宿遷)有限公司劉金山獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長電科技(宿遷)有限公司申請的專利芯片結構分析方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115343601B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211062943.8,技術領域涉及:G01R31/28;該發明授權芯片結構分析方法是由劉金山;劉紅軍;王為民設計研發完成,并于2022-09-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本芯片結構分析方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種芯片結構分析方法,所述分析方法包括步驟:研磨焊球,并在研磨焊球過程中,控制研磨功率使研磨產生的振動傳遞至中間層,在中間層上形成裂紋;去除鈍化層,去除形成裂紋的中間層,對金屬線路層進行分析。通過研磨焊球產生振動,并通過控制研磨工藝參數,將研磨過程中產生的振動能準確傳遞至中間層,使包括掩膜層和通孔層的中間層產生裂紋。產生裂紋的中間層結構強度降低,并且層間結合力降低,更容易去除,無需使用特殊化學溶劑或使用專業研磨機,方法操作性強的同時效率高。并且,利用焊球作為傳遞振動能的中間介質,振動能的傳遞過程更為緩和可控,焊球也可以起到一定的保護功能,防止對金屬線路層造成破壞。
本發明授權芯片結構分析方法在權利要求書中公布了:1.一種芯片結構分析方法,所述芯片包括:襯底、襯底上形成的金屬線路層、形成于金屬線路層上的至少一層中間層、形成于中間層上的鈍化層以及位于所述鈍化層內的焊墊,所述中間層包括掩膜層和或通孔層,其特征在于,所述分析方法包括步驟: 在所述焊墊表面形成焊球,研磨所述焊球,并在研磨所述焊球過程中,控制研磨功率使研磨產生的振動通過焊球傳遞至所述中間層,在所述中間層上形成裂紋;所述“研磨所述焊球”,具體包括: 通過引線鍵合用劈刀研磨所述焊球,并通過控制所述劈刀研磨功率,控制所述劈刀研磨時間,持續研磨至裂紋延伸至所述中間層對應于所述焊墊的完整區域,并避免所述金屬線路層產生裂紋; 去除所述鈍化層,去除形成裂紋的所述中間層,對所述金屬線路層進行分析。
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