信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社郡大佑獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社申請(qǐng)的專(zhuān)利有機(jī)膜形成材料、圖案形成方法以及化合物獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115963695B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202211211942.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G03F7/004;該發(fā)明授權(quán)有機(jī)膜形成材料、圖案形成方法以及化合物是由郡大佑;小林直貴;山本靖之設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-09-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本有機(jī)膜形成材料、圖案形成方法以及化合物在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明涉及有機(jī)膜形成材料、圖案形成方法以及化合物。本發(fā)明的目的是提供一種化合物,能形成不僅耐熱性、形成于基板的圖案的填埋、平坦化特性?xún)?yōu)良,且對(duì)于基板的成膜性、密接性良好的有機(jī)下層膜,并提供含有該化合物的有機(jī)膜形成材料。本發(fā)明的解決手段是一種有機(jī)膜形成材料,其特征在于含有下述通式1表示的化合物及有機(jī)溶劑。該通式1中,R1是下述式2的任一者,R2表示硝基、鹵素原子、羥基、烷基氧基、炔基氧基、烯基氧基、直鏈狀、分支狀、或環(huán)狀的烷基、三氟甲基、三氟甲基氧基;n表示0或1,m表示1~3的整數(shù),p表示0或1,l表示0~2的整數(shù);W是碳數(shù)2~40的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)。
本發(fā)明授權(quán)有機(jī)膜形成材料、圖案形成方法以及化合物在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種有機(jī)膜形成材料,其特征在于,含有下述通式1表示的化合物及有機(jī)溶劑: 該通式1中,R1是下述式2的任一者,R2表示硝基、鹵素原子、羥基、碳數(shù)1~4的烷基氧基、碳數(shù)2~4的炔基氧基、碳數(shù)2~4的烯基氧基、碳數(shù)1~6的直鏈狀、分支狀、或環(huán)狀的烷基、三氟甲基、三氟甲基氧基;n表示0或1,m表示1~3的整數(shù),p表示0或1,l表示0~2的整數(shù);W是以下結(jié)構(gòu)中的任意者:
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù),可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話(huà)0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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