中國科學院上海微系統與信息技術研究所王瀟悅獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院上海微系統與信息技術研究所申請的專利一種蝕刻測量圖形結構及鉆蝕量的測量方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115571853B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211305026.8，技術領域涉及：B81C99/00；該發明授權一種蝕刻測量圖形結構及鉆蝕量的測量方法是由王瀟悅;吳亞明;凌必赟;陳棟;徐巧設計研發完成，并于2022-10-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種蝕刻測量圖形結構及鉆蝕量的測量方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種蝕刻測量圖形結構及鉆蝕量的測量方法，所述蝕刻測量圖形結構用于測量晶圓蝕刻量，所述蝕刻測量圖形結構包括以線性陣列排布的測量圖形；各所述測量圖形之間的間距依次構成等差數列。本發明的鉆蝕量的測量方法中，通過設置蝕刻測量圖形結構，測量圖形成等差數列排布；在不影響晶圓整體工藝的情況下，基于測量圖形的邊緣連接情況獲得鉆蝕的數值，測量精度高。
本發明授權一種蝕刻測量圖形結構及鉆蝕量的測量方法在權利要求書中公布了：1.一種鉆蝕量的測量方法，其特征在于，所述測量方法包括以下步驟： S1：在晶圓的設計圖形區域外放置蝕刻測量圖形結構；所述蝕刻測量圖形結構包括以線性陣列排布的測量圖形；各所述測量圖形之間的間距依次構成等差數列； S2：通過刻蝕將設計圖形及所述蝕刻測量圖形結構加工到所述晶圓上，并獲取加工完成后的晶圓的刻蝕圖形； S3：基于所述刻蝕圖形中的測量圖形之間的邊緣位移，進而得到鉆蝕量；通過觀察所述刻蝕圖形中測量圖形邊緣相接的兩個測量圖形的序號，通過所述兩個測量圖形的序號得到所述鉆蝕量，所述鉆蝕量為所述兩個測量圖形移動的大小。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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