太原太航德克森自控工程股份有限公司閆晉平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉太原太航德克森自控工程股份有限公司申請的專利一種自動控制真空壓力的方法及其控制系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115628847B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211405915.1,技術領域涉及:G01L27/00;該發明授權一種自動控制真空壓力的方法及其控制系統是由閆晉平設計研發完成,并于2022-11-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種自動控制真空壓力的方法及其控制系統在說明書摘要公布了:本發明屬于真空技術領域,具體公開了一種自動控制真空壓力的方法及其控制系統,該系統包括依次連接的真空泵、分子泵和高真空腔,所述高真空腔設有外接被檢真空儀表的測試口,該系統還包括真空壓力檢測組件和壓力調整組件;真空壓力檢測組件用于檢測反饋高真空腔內的真空值,壓力調整組件用于動態調整高真空腔內的壓力值。利用該系統檢測被檢真空儀表的真空度,然后通過檢測的當前真空值和目標真空值比對結果按照預設順序依次調節相應閥門的開度,可準確、穩定地將被檢真空儀表的真空控制在目標真空值上。
本發明授權一種自動控制真空壓力的方法及其控制系統在權利要求書中公布了:1.一種自動控制真空壓力的控制系統,包括依次連接的真空泵(14)、分子泵(13)和高真空腔(19),所述高真空腔(19)設有外接被檢真空儀表的測試口,其特征在于,還包括: 真空壓力檢測組件,用于檢測反饋高真空腔(19)內的真空值,真空壓力檢測組件與高真空腔(19)連接; 壓力調整組件,用于動態調整高真空腔(19)內的壓力值,實現對被檢真空儀表的真空值測試和真空值自動控制,壓力調整組件與大氣壓力源和高真空腔(19)連接; 所述真空壓力檢測組件包括熱陰極真空計(15)、用于測量高真空的真空計一(16)、用于測量中真空的真空計二(17)和用于測量低真空的真空計三(18),所述熱陰極真空計(15)、真空計一(16)、真空計二(17)和真空計三(18)分別與高真空腔(19)連接; 所述壓力調整組件包括角閥五(5)、角閥六(6)、角閥七(7)、角閥八(8)、調節閥一(9)、調節閥二(10)、插板閥一(11)和插板閥二(12);所述插板閥一(11)和插板閥二(12)串聯設置于分子泵(13)和高真空腔(19)的連接回路上,插板閥一(11)一端與高真空腔(19),插板閥二(12)一端與分子泵(13)連接;所述調節閥一(9)、角閥五(5)、角閥六(6)、調節閥二(10)、角閥八(8)和角閥七(7)依次串聯,調節閥一(9)與大氣壓力源連通,角閥七(7)與真空泵(14)的輸出端連接;且角閥七(7)并聯于分子泵(13)和插板閥二(12)的串聯回路的兩端。
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