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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司申請的專利一種傳感器故障檢測方法及系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115808228B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211493795.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01F25/20；該發(fā)明授權(quán)一種傳感器故障檢測方法及系統(tǒng)是由楊春濤;張坤;楊春水設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-11-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種傳感器故障檢測方法及系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種傳感器故障檢測方法及系統(tǒng)，該方法包括：根據(jù)半導(dǎo)體廢氣處理裝置的冷卻水箱中各個液位傳感器的安裝位置信息，獲取各個所述液位傳感器對應(yīng)的預(yù)設(shè)液位信號判斷信息和預(yù)設(shè)故障檢測條件；基于不同類型的所述預(yù)設(shè)故障檢測條件，采集對應(yīng)的所述液位傳感器產(chǎn)生的觸發(fā)信號；根據(jù)所述觸發(fā)信號的采集結(jié)果和所述預(yù)設(shè)液位信號判斷信息，確定各個所述液位傳感器的故障檢測結(jié)果。本發(fā)明通過冷卻水箱中各個液位傳感器的安裝位置信息，采用對應(yīng)的預(yù)設(shè)液位信號判斷信息和預(yù)設(shè)故障檢測條件，對不同安裝位置的液位傳感器故障判斷，從而有效且準(zhǔn)確的實現(xiàn)對液位傳感器的故障情況進(jìn)行檢測，提高半導(dǎo)體廢氣處理裝置的穩(wěn)定性和安全。

本發(fā)明授權(quán)一種傳感器故障檢測方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種傳感器故障檢測方法，其特征在于，包括： 根據(jù)半導(dǎo)體廢氣處理裝置的冷卻水箱中各個液位傳感器的安裝位置信息，獲取各個所述液位傳感器對應(yīng)的預(yù)設(shè)液位信號判斷信息和預(yù)設(shè)故障檢測條件； 基于不同類型的所述預(yù)設(shè)故障檢測條件，采集對應(yīng)的所述液位傳感器產(chǎn)生的觸發(fā)信號； 根據(jù)所述觸發(fā)信號的采集結(jié)果和所述預(yù)設(shè)液位信號判斷信息，確定各個所述液位傳感器的故障檢測結(jié)果； 所述冷卻水箱中的各個液位傳感器是根據(jù)所述安裝位置信息中的液位檢測高度從低到高進(jìn)行設(shè)置的，依次為第一液位傳感器、第二液位傳感器、第三液位傳感器和第四液位傳感器； 其中，當(dāng)所述液位傳感器的液位檢測功能正常的情況下，所述冷卻水箱中的液位高度到達(dá)所述第三液位傳感器的感應(yīng)區(qū)高度時，所述冷卻水箱開始排水，并在所述冷卻水箱中的液位高度低于所述第二液位傳感器的感應(yīng)區(qū)高度后，所述冷卻水箱停止排水并開始進(jìn)水，直到所述冷卻水箱的液位高度再次到達(dá)所述第三液位傳感器的感應(yīng)區(qū)高度； 所述根據(jù)半導(dǎo)體廢氣處理裝置的冷卻水箱中各個液位傳感器的安裝位置信息，獲取各個所述液位傳感器對應(yīng)的預(yù)設(shè)液位信號判斷信息和預(yù)設(shè)故障檢測條件，包括： 若所述液位傳感器為所述第一液位傳感器，將所述第二液位傳感器確定為故障狀態(tài)的判定時刻作為所述第一液位傳感器的預(yù)設(shè)故障檢測條件，得到第一預(yù)設(shè)故障檢測條件； 根據(jù)所述第三液位傳感器與所述第一液位傳感器之間的高度差信息，得到第一預(yù)設(shè)液位信號判斷信息，其中，所述第一預(yù)設(shè)液位信號判斷信息為所述液位傳感器的液位檢測功能在正常情況下，將所述冷卻水箱中的冷卻水從所述第三液位傳感器的液位高度排水至所述第一液位傳感器的液位高度所需的時長； 若所述液位傳感器為所述第二液位傳感器，在所述冷卻水箱的排水過程中，將所述第二液位傳感器的觸發(fā)信號消失的時刻作為所述第二液位傳感器的預(yù)設(shè)故障檢測條件，得到第二預(yù)設(shè)故障檢測條件； 根據(jù)所述冷卻水箱停止排水的液位高度與所述第二液位傳感器的感應(yīng)區(qū)高度之間的高度差信息，得到第二預(yù)設(shè)液位信號判斷信息，其中，所述第二預(yù)設(shè)液位信號判斷信息為所述液位傳感器的液位檢測功能在正常情況下，將所述冷卻水箱中的冷卻水從所述冷卻水箱停止排水的液位高度進(jìn)水至所述第二液位傳感器的感應(yīng)區(qū)高度所需的時長； 若所述液位傳感器為所述第三液位傳感器，將所述冷卻水箱停止排水的時刻作為所述第三液位傳感器的預(yù)設(shè)故障檢測條件，得到第三預(yù)設(shè)故障檢測條件； 根據(jù)所述冷卻水箱中所述第二液位傳感器與所述第三液位傳感器之間的高度差信息，得到第三預(yù)設(shè)液位信號判斷信息，其中，所述第三預(yù)設(shè)液位信號判斷信息為所述液位傳感器的液位檢測功能在正常情況下，將所述冷卻水箱中的冷卻水從所述第二液位傳感器的液位高度進(jìn)水至所述第三液位傳感器的液位高度所需的時長； 若所述液位傳感器為所述第四液位傳感器，將所述第三液位傳感器確定為故障狀態(tài)的判定時刻作為所述第四液位傳感器的預(yù)設(shè)故障檢測條件，得到第四預(yù)設(shè)故障檢測條件； 根據(jù)所述第二液位傳感器與所述第四液位傳感器之間的高度差信息，得到第四預(yù)設(shè)液位信號判斷信息，其中，所述第四預(yù)設(shè)液位信號判斷信息為所述液位傳感器的液位檢測功能在正常情況下，將所述冷卻水箱中的冷卻水從所述第二液位傳感器的液位高度進(jìn)水至所述第四液位傳感器的液位高度所需的時長； 所述基于不同類型的所述預(yù)設(shè)故障檢測條件，采集對應(yīng)的所述液位傳感器產(chǎn)生的觸發(fā)信號，包括： 在滿足所述第一預(yù)設(shè)故障檢測條件、所述第二預(yù)設(shè)故障檢測條件、所述第三預(yù)設(shè)故障檢測條件和所述第四預(yù)設(shè)故障檢測條件中任意一個預(yù)設(shè)故障檢測條件時，采集對應(yīng)的所述液位傳感器產(chǎn)生的觸發(fā)信號。

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