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龍圖騰網(wǎng)獲悉成都高真科技有限公司申請的專利晶圓處理裝置獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223277759U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202421929927.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B37/10；該實用新型晶圓處理裝置是由具滋賢設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-08-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓處理裝置在說明書摘要公布了：本實用新型提出了一種晶圓處理裝置，用于晶圓，包括裝卸組件和第一拋光組件，裝卸組件具有用于放置晶圓的容納槽，容納槽的槽壁上設(shè)有至少一個清洗劑噴射口，第一拋光組件沿容納槽的深度方向與容納槽相對設(shè)置，用于對晶圓的軸向的第二端進行化學(xué)機械拋光。本實用新型提出通過裝卸組件搬運并且固定晶圓，并且通過第一拋光組件對裝卸組件上的晶圓的背面拋光，使得晶圓的背面的光潔度得到提高。并且裝卸組件具有向晶圓噴射清洗劑的清洗劑噴射口，使得晶圓的背面在拋光時，晶圓的正面同步進行清洗，提高晶圓CMP的效率，并且晶圓背面拋光設(shè)備由可集成在CMP設(shè)備中的第一拋光組件替代，清洗功能集成在裝卸組件上，不需要額外購買設(shè)備，可節(jié)約成本。

本實用新型晶圓處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓處理裝置，其特征在于，包括： 裝卸組件，具有用于放置所述晶圓的容納槽，所述容納槽的槽壁上設(shè)有至少一個清洗劑噴射口，所述清洗劑噴射口的噴射方向朝向所述容納槽的開口設(shè)置，所述清洗劑噴射口用于向所述晶圓的軸向的第一端噴射清洗劑； 第一拋光組件，沿所述容納槽的深度方向與所述容納槽相對設(shè)置，用于對所述晶圓的軸向的第二端進行化學(xué)機械拋光； 其中，所述裝卸組件包括裝卸卡盤，所述裝卸卡盤包括底座和安裝部，所述安裝部環(huán)設(shè)于所述底座朝向所述第一拋光組件的一側(cè)，所述安裝部的內(nèi)周側(cè)與所述底座朝向所述第一拋光組件的一側(cè)之間限定出所述容納槽，所述清洗劑噴射口設(shè)置在所述底座，所述底座內(nèi)還設(shè)有至少一個清洗劑通道，所述清洗劑通道的一端與所述清洗劑噴射口連通，所述清洗劑通道的另一端用于連通清洗劑供應(yīng)裝置。

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