無錫琨圣芯成科技有限公司李鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫琨圣芯成科技有限公司申請的專利一種密封式晶圓搬運裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284949U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422088221.0，技術領域涉及：H01L21/677；該實用新型一種密封式晶圓搬運裝置是由李鵬;王佳偉;曹剛設計研發完成，并于2024-08-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種密封式晶圓搬運裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種密封式晶圓搬運裝置，包括：傳動結構、驅動結構和密封結構，傳動結構包括旋轉桿，旋轉桿上安裝有夾持臂；驅動結構包括殼體和驅動組件，殼體內開設有容置空間，驅動組件安裝在容置空間內，旋轉桿貫穿殼體與驅動組件相連；驅動結構驅動旋轉桿旋轉以帶動夾持臂轉動夾持晶圓；密封結構包括第一密封件，第一密封件設置在旋轉桿與殼體的連接位置以密封容置空間；其中，容置空間內充斥有氣體介質，且容置空間內的第一氣體壓強大于殼體外部的第二氣體壓強以防止外部氣體進入容置空間。此結構的容置空間的內部形成正壓，避免酸氣進入，導致內部元器件的腐蝕。
本實用新型一種密封式晶圓搬運裝置在權利要求書中公布了：1.一種密封式晶圓搬運裝置，其特征在于，包括： 傳動結構2，所述傳動結構2包括旋轉桿21，所述旋轉桿21上安裝有夾持臂1； 驅動結構5，所述驅動結構5包括殼體51和驅動組件52，所述殼體51內開設有容置空間，所述驅動組件52安裝在所述容置空間內，所述旋轉桿21貫穿所述殼體與所述驅動組件52相連；所述驅動結構5驅動所述旋轉桿21旋轉以帶動所述夾持臂1轉動夾持晶圓； 密封結構，所述密封結構包括第一密封件81，所述第一密封件81設置在所述旋轉桿21與所述殼體51的連接位置以密封所述容置空間； 其中，所述容置空間內充斥有氣體介質，且所述容置空間內的第一氣體壓強大于所述殼體51外部的第二氣體壓強以防止外部氣體進入所述容置空間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫琨圣芯成科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區錫賢路106號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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