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龍圖騰網獲悉萬華化學集團電子材料有限公司申請的專利化學機械拋光墊的拋光層的制備方法和化學機械拋光墊獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118721051B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411201493.5，技術領域涉及：B24D11/00；該發明授權化學機械拋光墊的拋光層的制備方法和化學機械拋光墊是由梅英杰;魯航;王凱;田騏源;袁文杰;高彥升;閆晨凱設計研發完成，并于2024-08-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本化學機械拋光墊的拋光層的制備方法和化學機械拋光墊在說明書摘要公布了：本發明涉及化學機械拋光墊技術領域，提供一種化學機械拋光墊的拋光層的制備方法和化學機械拋光墊，在拋光墊中采用本發明制備的拋光層，能夠有效改善拋光墊拋光晶圓時的拋光速率不一致等問題。所述拋光層的制備步驟包括：（1）將包括聚氨酯預聚體、固化劑和部分膨脹的聚合物膨脹微球的混合料澆注于模具的澆注腔內，部分膨脹的聚合物膨脹微球經加熱能二次膨脹；所述模具具有溫度調節功能，并且沿著模具的澆注腔的橫截面具有多個溫度調節區域；（2）調節各個溫度調節區域的溫度以使至少兩個所述溫度調節區域的溫度不同；（3）將混合料進行包括硫化的后處理，得到拋光層，且所述拋光層的各個拋光層區域之間的密度極差為0.05?0.3gcm3，硬度極差為5?10D。

本發明授權化學機械拋光墊的拋光層的制備方法和化學機械拋光墊在權利要求書中公布了：1.一種化學機械拋光墊的拋光層的制備方法，其特征在于，所述制備方法用于制備沿著拋光層的橫截面包括多個密度和硬度不同的拋光層區域的拋光層； 所述拋光層的制備步驟包括： （1）將包括聚氨酯預聚體、固化劑和部分膨脹的聚合物膨脹微球的混合料澆注于模具的澆注腔內，所述混合料的澆注厚度為0.2-1cm，所述部分膨脹的聚合物膨脹微球經加熱能二次膨脹；所述模具具有溫度調節功能，并且沿著所述模具的澆注腔的橫截面具有多個溫度調節區域； 其中，所述部分膨脹的聚合物膨脹微球的初始膨脹溫度為60-70℃，且在80-100℃達到最大膨脹能力并停止膨脹； 步驟（1）中先將所述部分膨脹的聚合物膨脹微球分散于所述聚氨酯預聚體中，所述分散在60-80℃下進行，之后在進行所述澆注之前，再添加所述固化劑并混合均勻，得到所述混合料；并且，進行所述澆注之前，所述混合料的溫度為35-55℃； （2）調節各個所述溫度調節區域的溫度以使至少兩個所述溫度調節區域的溫度不同，并且使得與溫度不同的所述溫度調節區域的位置相對應的澆注腔內的所述部分膨脹的聚合物膨脹微球發生不同程度的二次膨脹； （3）將經過步驟（2）處理的混合料進行包括硫化的后處理，得到單片的所述拋光層，且所述拋光層的各個所述拋光層區域之間的密度極差為0.05-0.3gcm3，硬度極差為5-10D。

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