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龍圖騰網(wǎng)獲悉鑫成精密技術(shù)(深圳)有限公司申請的專利一種用于半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化脫膠裝置獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223284935U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202422284815.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化脫膠裝置是由余小聰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-09-18向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化脫膠裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了屬于機(jī)械化脫膠技術(shù)領(lǐng)域的一種用于半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化脫膠裝置，包括處理箱和L型連接桿，處理箱后方固定連接有L型連接桿，L型連接桿底部一側(cè)固定連接有一號(hào)伸縮筒，一號(hào)伸縮筒內(nèi)部設(shè)有一號(hào)伸縮桿，L型連接桿底部另一側(cè)固定連接有二號(hào)伸縮筒，二號(hào)伸縮筒內(nèi)部設(shè)有二號(hào)伸縮桿，一號(hào)伸縮桿和二號(hào)伸縮桿底部設(shè)有一處過濾盒，移動(dòng)兩個(gè)伸縮桿在伸縮筒內(nèi)部的位置，將伸縮桿向上移動(dòng)，帶動(dòng)脫膠的原料脫離處理箱，移動(dòng)一號(hào)伸縮桿在一號(hào)伸縮筒內(nèi)部位置，將過濾盒傾斜，將處理后的晶圓倒出，實(shí)現(xiàn)收集工作，便于對(duì)脫膠后的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行收集；設(shè)置的一號(hào)擋板和二號(hào)擋板防止晶圓收集時(shí)掉落，設(shè)置的熱風(fēng)機(jī)能夠讓脫膠后的晶圓快速干燥。

本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化脫膠裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化脫膠裝置，包括處理箱（1）和L型連接桿（2），其特征在于：所述處理箱（1）內(nèi)部設(shè)有加熱器，所述處理箱（1）后方固定連接有L型連接桿（2），所述L型連接桿（2）底部一側(cè)固定連接有一號(hào)伸縮筒（3），所述一號(hào)伸縮筒（3）內(nèi)部設(shè)有一號(hào)伸縮桿（4），所述一號(hào)伸縮桿（4）活動(dòng)連接在一號(hào)伸縮筒（3）內(nèi)部，所述L型連接桿（2）底部另一側(cè)固定連接有二號(hào)伸縮筒（5），所述二號(hào)伸縮筒（5）內(nèi)部設(shè)有二號(hào)伸縮桿（6），所述二號(hào)伸縮桿（6）活動(dòng)連接在二號(hào)伸縮筒（5）內(nèi)部，所述一號(hào)伸縮桿（4）和二號(hào)伸縮桿（6）底部設(shè)有一處過濾盒（7），所述過濾盒（7）轉(zhuǎn)動(dòng)連接在一號(hào)伸縮桿（4）和二號(hào)伸縮桿（6）底部。

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