安徽光智科技有限公司楊強獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽光智科技有限公司申請的專利溫場穩定裝置及垂直液相外延系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223280972U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422446067.X,技術領域涉及:C30B19/00;該實用新型溫場穩定裝置及垂直液相外延系統是由楊強;許軍;魏碩碩;毛成狀設計研發完成,并于2024-10-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本溫場穩定裝置及垂直液相外延系統在說明書摘要公布了:本申請提供了一種溫場穩定裝置及垂直液相外延系統,涉及半導體材料制備技術領域。垂直液相外延系統包括石墨拉桿、冷水盤和石墨坩堝,溫場穩定裝置包括殼體,殼體具有從自身的一端貫穿至另一端的通孔,殼體通過通孔套設在石墨拉桿上且位于冷水盤與石墨坩堝之間,殼體靠近冷水盤的一端開設有環繞通孔的環形收容槽;在襯底上生長碲鎘汞薄膜的過程中,生長區(即石墨坩堝)的汞蒸汽會不斷地向上方的低溫區(即冷水盤)運動,并在低溫區凝結成液體汞珠,當液體汞珠滴落時,液體汞珠會被殼體上的環形收容槽所接收,并不會到達下方的高溫區(即石墨坩堝)。基于此,本申請可使生長區的溫場更加平衡,并減小碲鎘汞薄膜生長數據的調控難度。
本實用新型溫場穩定裝置及垂直液相外延系統在權利要求書中公布了:1.一種溫場穩定裝置,其特征在于,應用于垂直液相外延系統中,所述垂直液相外延系統包括石墨拉桿、固定架、用于容置冷卻水的冷水盤及用于容置碲鎘汞溶液的石墨坩堝,所述冷水盤設置于所述石墨坩堝的上方,所述石墨拉桿滑動設置于所述冷水盤與所述石墨坩堝之間,所述固定架設置于所述石墨拉桿靠近所述石墨坩堝的一端上,所述固定架用于固定襯底,所述石墨拉桿用于在外力作用下將所述固定架伸入所述石墨坩堝、并使所述襯底浸沒于所述碲鎘汞溶液中,以在所述襯底上生長碲鎘汞薄膜; 所述溫場穩定裝置包括殼體,所述殼體具有從自身的一端貫穿至另一端的通孔,所述殼體通過所述通孔套設在所述石墨拉桿上,所述殼體靠近所述冷水盤的一端開設有環繞所述通孔的環形收容槽,所述環形收容槽用于在所述碲鎘汞薄膜的生長過程中接收從上方滴落的液體汞珠。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人安徽光智科技有限公司,其通訊地址為:239064 安徽省滁州市瑯琊經濟開發區南京路100號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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