江蘇微導納米科技股份有限公司張鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇微導納米科技股份有限公司申請的專利沉積系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223280934U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422487180.2，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型沉積系統是由張鵬;嚴大;范方宇;廖寶臣;楊柳設計研發完成，并于2024-10-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本沉積系統在說明書摘要公布了：本申請公開了沉積系統。沉積系統包括外殼、支撐座和活動座。支撐座設置于外殼內，支撐座用于支撐載具。活動座設置于外殼，活動座和支撐座相對設置在外殼的兩側，活動座和支撐座之間用于供載具放置，活動座包括安裝于外殼的基座和與基座活動連接的抵接座，抵接座設置于外殼內。其中，抵接座用于通過活動選擇性與載具抵接，以通過活動座和支撐座將載具封閉，支撐座和活動座的其中一者設置有進氣通道，另一者設置有出氣通道；進氣通道和出氣通道用于向載具內通入工藝氣體。通過上述方式，本申請能夠提高鍍膜的均勻性。
本實用新型沉積系統在權利要求書中公布了：1.一種沉積系統，其特征在于，包括： 外殼； 支撐座，設置于所述外殼內，所述支撐座用于支撐載具； 活動座，設置于所述外殼，所述活動座和所述支撐座相對設置在所述外殼的相對兩側，所述活動座和所述支撐座之間用于供所述載具放置，所述活動座包括安裝于所述外殼的基座和與所述基座活動連接的抵接座，所述抵接座設置于所述外殼內； 其中，所述抵接座用于通過活動選擇性與所述載具抵接，以選擇性通過所述活動座和所述支撐座將所述載具封閉，所述支撐座和所述活動座的其中一者設置有進氣通道，另一者設置有出氣通道；所述進氣通道和所述出氣通道用于向所述載具內通入工藝氣體。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇微導納米科技股份有限公司，其通訊地址為：214028 江蘇省無錫市新吳區長江南路27號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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