至微半導體(上海)有限公司薛棟豪獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉至微半導體(上海)有限公司申請的專利一種晶圓清洗藥液輸送管路結構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223282910U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422486727.7，技術領域涉及：F17D3/01；該實用新型一種晶圓清洗藥液輸送管路結構是由薛棟豪;唐寶國;陳新來;沈一林設計研發完成，并于2024-10-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓清洗藥液輸送管路結構在說明書摘要公布了：本實用新型提供一種晶圓清洗藥液輸送管路結構，包括與臭氧發生器連接的主循環管路、流量控制器以及常閉回吸閥，所述主循環管路連接第一排放管路，且通過第一三通接頭連接供液管路的前端，所述供液管路的后端連接噴嘴，所述流量控制器和常閉回吸閥依次前后設于所述供液管路上，其特征在于，還包括第二排放管路，所述第二排放管路通過第二三通接頭與所述供液管路連接，所述第二三通接頭位于所述常閉回吸閥之前，所述第二排放管路上設有常開閥。本實用新型提供的一種晶圓清洗藥液輸送管路結構，在噴淋作業開始前，可通過第二排放管路將臭氧液體排出，避免藥液被常閉回吸閥阻擋后產生氧氣影響回吸效果。
本實用新型一種晶圓清洗藥液輸送管路結構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗藥液輸送管路結構，包括與臭氧發生器連接的主循環管路、流量控制器以及常閉回吸閥，所述主循環管路連接第一排放管路，且通過第一三通接頭連接供液管路的前端，所述供液管路的后端連接噴嘴，所述流量控制器和常閉回吸閥依次前后設于所述供液管路上，其特征在于，還包括第二排放管路，所述第二排放管路通過第二三通接頭與所述供液管路連接，所述第二三通接頭位于所述常閉回吸閥之前，所述第二排放管路上設有常開閥。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人至微半導體(上海)有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號1幢3層03室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號