買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司申請(qǐng)的專利傳片校正裝置及傳片腔室獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223284959U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422706608.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該實(shí)用新型傳片校正裝置及傳片腔室是由米濤;張之光設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-06向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本傳片校正裝置及傳片腔室在說(shuō)明書摘要公布了：本申請(qǐng)公開了一種傳片校正裝置及傳片腔室，該傳片校正裝置包括檢測(cè)組件和校正組件；所述檢測(cè)組件安裝于傳片腔室的腔壁上，并與上位機(jī)相連，用于發(fā)射檢測(cè)光束并基于檢測(cè)光束的遮擋信息確定晶圓的位置；所述校正組件安裝于所述傳片腔室的腔壁上，并與所述上位機(jī)相連，用于帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)以校正晶圓的位置。傳片校正裝置增加過程調(diào)節(jié)，在傳片過程中校正晶圓的角位移偏差，無(wú)需對(duì)外部機(jī)械手、真空機(jī)械手、晶圓運(yùn)動(dòng)臺(tái)進(jìn)行改動(dòng)，改動(dòng)成本小。傳片校正裝置包括檢測(cè)組件和校正組件，檢測(cè)組件可以在傳片腔室內(nèi)檢測(cè)晶圓的實(shí)際位置，校正組件可以在上位機(jī)的控制下校正晶圓的位置，從而可以至少部分消除外部機(jī)械手所帶來(lái)的誤差，提高傳片精度，提升設(shè)備指標(biāo)。

本實(shí)用新型傳片校正裝置及傳片腔室在權(quán)利要求書中公布了：1.一種傳片校正裝置，其特征在于，包括： 檢測(cè)組件，安裝于傳片腔室的腔壁上，并與上位機(jī)相連，用于發(fā)射檢測(cè)光束并基于檢測(cè)光束的遮擋信息確定晶圓的位置； 校正組件，安裝于所述傳片腔室的腔壁上，并與所述上位機(jī)相連，用于帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)以校正晶圓的位置。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。