蘇州芯輪半導體科技有限公司張磊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州芯輪半導體科技有限公司申請的專利一種便于裝卸的晶圓研磨頭組件獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223277760U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422938383.9，技術領域涉及：B24B37/10；該實用新型一種便于裝卸的晶圓研磨頭組件是由張磊;溫鵬飛;王京平設計研發完成，并于2024-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種便于裝卸的晶圓研磨頭組件在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種便于裝卸的晶圓研磨頭組件，包括淋水構件，所述淋水構件包括底座，所述底座頂部外壁設置有支撐架，支撐架一側外壁設置有輸送泵，輸送泵頂部連接有儲水箱，儲水箱頂部連接有補充口，底座頂部外壁設置有固定架，固定架頂部依次排列設置有多組研磨架，固定架底部設置有多組調速電機，每組研磨架分別與對應的調速電機相連接，支撐架靠近固定架一側設置有噴頭，噴頭一端連接于輸送泵，噴頭位置與研磨架相適配，支撐架一側設置有用于調節研磨角度和位置的調節構件，所述調節構件包括電動伸縮桿，所述電動伸縮桿通過螺栓固定于支撐架一側外壁，支撐架頂部設置有開槽，開槽處滑動安裝有移動塊。
本實用新型一種便于裝卸的晶圓研磨頭組件在權利要求書中公布了：1.一種便于裝卸的晶圓研磨頭組件，其特征在于，包括淋水構件，所述淋水構件包括底座1，所述底座1頂部外壁設置有支撐架10，支撐架10一側外壁設置有輸送泵21，輸送泵21頂部連接有儲水箱8，儲水箱8頂部連接有補充口18，底座1頂部外壁設置有固定架5，固定架5頂部依次排列設置有多組研磨架4，固定架5底部設置有多組調速電機3，每組研磨架4分別與對應的調速電機3相連接，支撐架10靠近固定架5一側設置有噴頭7，噴頭7一端連接于輸送泵21，噴頭7位置與研磨架4相適配，支撐架10一側設置有用于調節研磨角度和位置的調節構件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州芯輪半導體科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區吳中大道1183號30幢1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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