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龍圖騰網獲悉北京大學申請的專利一種集成碳納米管晶體管的柔性壓力傳感器及制備方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119915413B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202411811705.1，技術領域涉及：G01L1/14；該發(fā)明授權一種集成碳納米管晶體管的柔性壓力傳感器及制備方法是由馬超;胡又凡設計研發(fā)完成，并于2024-12-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種集成碳納米管晶體管的柔性壓力傳感器及制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種集成碳納米管晶體管的柔性壓力傳感器，包括彈性體復合柵極電極、分層復合介電質層、浮柵碳納米管晶體管，彈性體復合柵極電極由彈性體電極和金屬電極復合而成，彈性體電極由聚二甲基硅氧烷和導電碳納米管制備而成，彈性體電極外表面形成多尺度微結構，金屬電極為蒸鍍微結構外表面的下金屬層電極和與彈性體電極上表面相連的上金屬層電極；分層復合介電質層由有機介電質和無機介電質復合而成；浮柵碳納米管晶體管中的浮柵電極長度延長用于與其他部分的集成，其溝道由高純度半導體碳納米管薄膜制成。本發(fā)明的工作電壓相對較低、傳感性能較高，設計靈活性較高、電學和力學穩(wěn)定性較高，有利于傳感器器件的小型化和規(guī)模化。

本發(fā)明授權一種集成碳納米管晶體管的柔性壓力傳感器及制備方法在權利要求書中公布了：1.一種集成碳納米管晶體管的柔性壓力傳感器，包括彈性體復合柵極電極、分層復合介電質層、浮柵碳納米管晶體管，其特征在于所述彈性體復合柵極電極由彈性體電極和金屬電極復合而成，所述彈性體電極為由聚二甲基硅氧烷和導電碳納米管復合材料制備而成的彈性體，所述彈性體電極在朝向分層復合介電質的外表面形成多尺度微結構，所述金屬電極為蒸鍍在彈性體電極具有多尺度微結構外表面的下金屬層電極和與彈性體電極不具有多尺度微結構的表面相連的上金屬層電極；所述分層復合介電質層由有機介電質和無機金屬氧化物介電質形成上下層結構復合而成，其位于彈性體復合柵極電極具有多尺度微結構的外表面與浮柵碳納米管晶體管中的浮柵之間；所述浮柵碳納米管晶體管中的浮柵電極長度延長，用于與彈性體復合柵極電極和分層復合介電質層的集成，其延長段長度大于彈性體復合柵極電極和分層復合介電質層的長度，其延長段的上表面與分層復合介電質層中的無機金屬氧化物介電質相連，其非延長段的上表面自下而上按順序沉積有：晶體管介電層、溝道，以及位于溝道兩端的源極電極、漏極電極，所述溝道由高純度半導體碳納米管薄膜制成。

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