合肥晶合集成電路股份有限公司潘玉妹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利用于常壓爐管系統的制備薄膜的方法以及常壓爐管系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120138615B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510596052.8，技術領域涉及：C23C16/52；該發明授權用于常壓爐管系統的制備薄膜的方法以及常壓爐管系統是由潘玉妹設計研發完成，并于2025-05-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于常壓爐管系統的制備薄膜的方法以及常壓爐管系統在說明書摘要公布了：本申請公開了一種用于常壓爐管系統的制備薄膜的方法以及常壓爐管系統，所述方法包括：獲得常壓爐管內部的工作氣壓，以作為第一氣壓；獲得常壓爐管的尾管的氣壓，以作為第二氣壓；基于所述第一氣壓和所述第二氣壓，調整所述第一氣壓和所述第二氣壓的壓力差，使得所述第一氣壓和所述第二氣壓的壓力差等于第一預設壓力差，以維持所述第一氣壓不變；以及基于所述第一氣壓和預設時間，在所述常壓爐管內制備薄膜。本申請實施例通過調整的第一氣壓和第二氣壓的壓力差，能夠維持常壓爐管內部的工作氣壓不變，從而能夠使得制備薄膜的速率維持穩定，可以提升制備薄膜厚度的一致性。
本發明授權用于常壓爐管系統的制備薄膜的方法以及常壓爐管系統在權利要求書中公布了：1.一種用于常壓爐管系統的制備薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括： 獲得常壓爐管內部的工作氣壓，以作為第一氣壓； 獲得常壓爐管的尾管的氣壓，以作為第二氣壓； 基于所述第一氣壓和所述第二氣壓，調整所述第一氣壓和所述第二氣壓的壓力差，使得所述第一氣壓和所述第二氣壓的壓力差等于第一預設壓力差，以維持所述第一氣壓不變； 基于所述第一氣壓和預設時間，在所述常壓爐管內制備薄膜， 其中，工作氣壓為常壓爐管內部的晶圓所在區域的氣壓； 其中，在所述基于所述第一氣壓和所述第二氣壓，調整所述第一氣壓和所述第二氣壓的壓力差，使得所述第一氣壓和所述第二氣壓的壓力差等于第一預設壓力差之前，所述方法還包括： 獲得預設周期內大氣壓力的最低氣壓，以作為基準氣壓； 獲取大氣壓力的當前值，以作為當前氣壓； 基于所述基準氣壓和所述當前氣壓，計算得到常壓爐管的第一預設壓力差。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人合肥晶合集成電路股份有限公司，其通訊地址為：230012 安徽省合肥市新站區合肥綜合保稅區內西淝河路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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