中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所周建獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所申請的專利一種聚焦式高消光比紅外偏振集成探測器結(jié)構(gòu)及其設(shè)計方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120344044B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510813927.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10F77/45;該發(fā)明授權(quán)一種聚焦式高消光比紅外偏振集成探測器結(jié)構(gòu)及其設(shè)計方法是由周建;周易;應(yīng)翔霄;王芳芳;陳建新設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-06-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種聚焦式高消光比紅外偏振集成探測器結(jié)構(gòu)及其設(shè)計方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開一種聚焦式高消光比紅外偏振集成探測器結(jié)構(gòu)及其設(shè)計方法,其結(jié)構(gòu)包括讀出電路層、銦柱互連層、光敏芯片吸收層、空氣間隔層、集成銦柱層、金屬光柵層、襯底層和超構(gòu)透鏡聚光層。通過超構(gòu)透鏡聚光層和金屬光柵層雙面對準(zhǔn)設(shè)計,同時具備對應(yīng)線偏振光的光匯聚和偏振濾光功能,與焦平面像元對準(zhǔn)集成后實現(xiàn)高消光比的紅外偏振探測器。
本發(fā)明授權(quán)一種聚焦式高消光比紅外偏振集成探測器結(jié)構(gòu)及其設(shè)計方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種聚焦式高消光比紅外偏振集成探測器結(jié)構(gòu),其特征在于,包括自下而上依次設(shè)置的: 底部讀出電路層1,用于信號讀取和處理; 銦柱互連層2,通過倒裝焊工藝與所述底部讀出電路層1鍵合連接; 光敏芯片吸收層3,通過所述銦柱互連層2與所述底部讀出電路層1實現(xiàn)電學(xué)互連,包含呈陳列排布的多個光敏元,用于吸收紅外光; 空氣間隔層4,設(shè)置于所述光敏芯片吸收層3表面; 集成銦柱層5,設(shè)置于所述空氣間隔層4表面,用于提供結(jié)構(gòu)支撐和電氣連接; 金屬光柵層6,設(shè)置于所述集成銦柱層5之上,包含呈陳列排布的多個線列光柵,每個線列光柵具有0°、45°、90°和135°四種不同偏振取向,且每個線列光柵與下方所述光敏元對準(zhǔn),用于對紅外光進(jìn)行偏振濾光; 襯底層7,設(shè)置于所述金屬光柵層6之上,為所述金屬光柵層6提供支撐; 超構(gòu)透鏡聚光層8,設(shè)置于所述襯底層7的另一側(cè),包含呈陳列排布的多個透鏡單元,所述透鏡單元的相位分布滿足菲涅爾雙曲線調(diào)控規(guī)律,以實現(xiàn)光的相位調(diào)控和匯聚; 其中,所述超構(gòu)透鏡聚光層8的每個透鏡單元與金屬光柵層6的對應(yīng)線列光柵及光敏芯片層3的光敏元形成垂直的光路通道;所述空氣間隔層4的厚度與所述超構(gòu)透鏡聚光層8的焦距相匹配,通過控制所述空氣間隔層4的厚度,使入射光經(jīng)所述超構(gòu)透鏡聚光層8聚焦后匯聚在對應(yīng)光敏元的有效區(qū)域內(nèi),從而抑制鄰近像元間的光串?dāng)_,實現(xiàn)偏振消光比; 所述超構(gòu)透鏡聚光層8的透鏡單元包含n個元胞結(jié)構(gòu),該元胞結(jié)構(gòu)以一個介質(zhì)柱為核心,介質(zhì)柱在水平方向上的排列周期為p1,且在兩個正交方向上周期相同; 所述介質(zhì)柱周期大小范圍為1~3μm,介質(zhì)柱的占空比范圍為0.1~0.8,介質(zhì)柱高度范圍1~10μm,采用時域有限差分法或有限元方法進(jìn)行設(shè)計,其對應(yīng)的相位分布按照菲涅爾雙曲線型規(guī)律: 其中x、y為超構(gòu)透鏡元胞位置,λ為目標(biāo)波長,n為材料背景的折射率指數(shù),f是設(shè)計焦距,Cλ為初相位常數(shù)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所,其通訊地址為:200083 上海市虹口區(qū)玉田路500號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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