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龍圖騰網獲悉成都航天凱特機電科技有限公司申請的專利一種超小型高精度伺服驅動轉臺的控制方法和系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120376444B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510864212.2，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權一種超小型高精度伺服驅動轉臺的控制方法和系統是由張云輝;蔣禮平;陳鵬;譚宗安;廖紅波;唐君楊;林輝;李小龍設計研發完成，并于2025-06-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種超小型高精度伺服驅動轉臺的控制方法和系統在說明書摘要公布了：本發明提供的一種超小型高精度伺服驅動轉臺的控制方法和系統，本發明涉及伺服驅動轉臺技術領域，該方法包括基于待檢測晶圓的圖片確定每一個分割芯片圖片和每一個分割芯片信息；基于每一個分割芯片信息確定多個第一風險芯片；基于多個第一風險芯片信息使用聚類算法進行聚類得到K個簇和每個簇的代表芯片；得到距離每個簇的代表芯片的X射線檢查信息；基于多個第一風險芯片信息、每個簇的代表芯片的X射線檢查信息確定多個風險簇和每一個風險簇中的多個第二風險芯片；基于每一個風險簇中的多個第二風險芯片圖片確定最終檢測路徑；基于所述最終檢測路徑控制超小型高精度伺服驅動轉臺進行電氣性能檢測，該方法能夠快速準確確定出最優的晶圓檢測路徑。

本發明授權一種超小型高精度伺服驅動轉臺的控制方法和系統在權利要求書中公布了：1.一種超小型高精度伺服驅動轉臺的控制方法，其特征在于，包括： 獲取待檢測晶圓的圖片； 基于所述待檢測晶圓的圖片確定每一個分割芯片圖片和每一個分割芯片信息； 基于所述每一個分割芯片信息確定多個第一風險芯片； 基于多個第一風險芯片信息使用聚類算法進行聚類得到K個簇和每個簇的代表芯片； 控制超小型高精度伺服驅動轉臺移動到每個簇的代表芯片處并進行X射線檢查得到每個簇的代表芯片的X射線檢查信息； 基于所述多個第一風險芯片信息、所述每個簇的代表芯片的X射線檢查信息確定多個風險簇和每一個風險簇中的多個第二風險芯片； 基于每一個風險簇中的多個第二風險芯片圖片確定最終檢測路徑； 基于所述最終檢測路徑控制超小型高精度伺服驅動轉臺進行電氣性能檢測。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人成都航天凱特機電科技有限公司，其通訊地址為：611730 四川省成都市郫都區現代工業港新經濟產業園西源大道一段1207號國盾融合創新中心一期B5-1、B5-2棟；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。