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龍圖騰網獲悉無錫興華衡輝科技有限公司申請的專利一種接觸式光刻機清洗設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120421273B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510929122.7，技術領域涉及：B08B3/12；該發明授權一種接觸式光刻機清洗設備是由劉正旭設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種接觸式光刻機清洗設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種接觸式光刻機清洗設備，涉及半導體芯片技術領域，包括清洗架、超聲清洗組件、傳動組件和回收組件，所述清洗架頂部的前表面設置PLC控制器。本發明使用時，擰動收緊螺栓，帶動限位伸縮桿轉動并收縮，進一步帶動轉桿、轉動環和兩個弧形收緊板轉動，對兩個收緊塊產生相對的拉力，通過兩個收緊塊帶動兩個收緊桿相對移動進一步帶動兩個調節框相對移動，通過橡膠釘將光刻板夾持固定住，然后將夾緊架外表面的插桿插入插孔內部。在調節組件的作用下，設置可以調節寬度距離的調節框，可以對不同厚度的光刻板進行柔性夾持固定，提高其牢固性和穩定性。

本發明授權一種接觸式光刻機清洗設備在權利要求書中公布了：1.一種接觸式光刻機清洗設備，包括清洗架、超聲清洗組件、傳動組件和回收組件，其特征在于：所述清洗架頂部的前表面設置PLC控制器，所述清洗架的頂部設置高壓沖洗組件，所述超聲清洗組件的內部設置調節組件； 所述調節組件包括四個夾緊架和八個調節框，八個所述調節框的一側外表面均固定連接有八個橡膠釘，八個所述調節框的兩側外表面均固定連接有收緊桿，所述夾緊架上下疊加放置兩個光刻板，所述調節框調節橡膠釘之間的距離寬度，與夾緊架中疊放的光刻板接觸，所述收緊桿用于帶動調節框移動； 所述超聲清洗組件包括外殼和清洗池，所述清洗池的底部設置換能器； 所述清洗池的外表面固定安裝在外殼的內部，所述清洗池外表面的底面處固定連接有廢液管，所述廢液管的一端固定貫穿至外殼的外表面，所述廢液管的外表面設置閥門，所述外殼和清洗池的頂部設置兩個插合蓋，所述外殼的底部固定安裝在清洗架的頂部； 所述高壓沖洗組件包括三個高壓泵和兩個存液桶，三個所述高壓泵的輸出端均通過法蘭盤連接有出液管，三個所述出液管的一端均設置電磁閥，三個所述電磁閥的輸出端均設置連接管，三個所述連接管的一端固定連接有T型管； 所述高壓沖洗組件還包括兩個移動管，兩個所述移動管的一端固定連接有分流管，兩個所述移動管的外表面均固定連接有多個噴頭，所述分流管外表面的中心處固定連接有固定管，所述固定管的一端固定連接有軟管，所述軟管的一端與T型管的一端固定連接； 其中兩個所述高壓泵的輸入端均通過法蘭盤連接有抽液管，另外一個所述高壓泵的輸入端通過法蘭盤連接有抽水管，兩個所述移動管和分流管的外表面均活動嵌設在清洗池的內部，兩個所述抽液管的一端分別延伸至兩個存液桶的內部，三個所述高壓泵的底部均通過螺栓安裝在清洗架頂部的邊緣處，所述T型管的兩端均固定安裝有支撐塊，兩個所述支撐塊的底部均固定安裝在清洗架的頂部； 所述傳動組件包括螺桿傳動機構和U型板，所述螺桿傳動機構的外表面設置移動板，所述移動板一側外表面的頂部處固定安裝有固定桿，所述固定桿的一端固定安裝有移動桿，所述移動桿的底部固定安裝在U型板的頂部，所述U型板的底部固定安裝在兩個移動管外表面的頂部處，所述U型板的外表面活動嵌設在清洗池的內部，所述螺桿傳動機構的底部固定安裝在清洗架的頂部靠近外殼處。

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