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龍圖騰網獲悉武漢大學申請的專利一種跨尺度的薄膜應力測試系統及測試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111380633B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201811622792.0，技術領域涉及：G01L1/24；該發明授權一種跨尺度的薄膜應力測試系統及測試方法是由劉勝;陳志文;楊凡;王晨陽;馬坤設計研發完成，并于2018-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種跨尺度的薄膜應力測試系統及測試方法在說明書摘要公布了：本發明設計了一種跨尺度的薄膜應力測試系統及測試方法，先將試樣薄膜放置于試樣板，通過氦氖激光經過不平整薄膜的反射光線，在陣線CCD的接受處理后光信號變成放大的電信號，計算機計算得到翹曲度，以及公式推導后得到薄膜宏觀應力，確定需要進一步測量的區域。然后在不移動試樣的情況下繼續利用X射線衍射原理測量局部微觀應力。X射線經過晶面反射得到若干束衍射線，利用X射線衍射條件得到晶面間變形，計算得到微觀晶體受到應力。通過本發明的技術方法，可大大節省監測薄膜材料宏觀翹曲狀況和微觀晶粒排列狀態的時間與材料，并且根據測量結果實現對薄膜材料應力狀態的檢測。具有操作簡單，快捷，節約時間成本，適用范圍廣泛的優點。

本發明授權一種跨尺度的薄膜應力測試系統及測試方法在權利要求書中公布了：1.一種跨尺度的薄膜應力測試方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：步驟一，在宏觀尺度測試薄膜的應力，將試樣薄膜放置于試樣板，利用光的干涉，氦氖激光經過不平整薄膜的反射光線，然后將光信號轉變成放大的電信號；宏觀測量模塊中，激光器發射、標準具在入射光路方向上順序排列，線陣CCD、偏振器、接收器于反射光線路上順序排列，使激光能被接收；步驟二，通過計算機計算得到翹曲度，以及得到薄膜宏觀應力，確定需要進一步測量的區域；得到薄膜宏觀應力具體為： 式中，σf——所測薄膜的殘余應力，Ms——基體楊氏模量，Mf——薄膜楊氏模量，hs——基體厚度，hf——薄膜厚度，ρ1——沉積薄膜前樣品的曲率半徑，ρ2——沉積薄膜后樣品的曲率半徑； 步驟三，在微觀尺度測試薄膜應力，在不移動試樣的情況下繼續利用X射線衍射測量局部微觀應力，X射線經過晶面反射得到若干束衍射線；微觀測量模塊中，發射器、主索勒狹縫、自動發散狹縫、射線罩依次排列在入射光路，使光線到達測角儀圓心軸伸出的樣品盒，試樣到探測器之間、衍射光路上依次排列狹縫-次索勒狹縫-防散射狹縫密封盒-單色器-探測器狹縫-探測器，使衍射光能被接收；步驟四，利用X射線衍射條件得到晶面間變形，計算得到微觀晶體受到應力； 得到微觀晶體受到應力具體為： ——垂直平面與出入射線法線方向夾角，E——樣品的楊氏模量，v——式樣泊松比，——不同值時某晶面間距，d0——時該晶面的晶面間距。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人武漢大學，其通訊地址為：430072 湖北省武漢市武昌區八一路299號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。