朗姆研究公司雅各布·利·希斯特獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利利用邊緣環升降的動態鞘控制獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113491003B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980079348.5，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權利用邊緣環升降的動態鞘控制是由雅各布·利·希斯特;理查德·M·布蘭克;柯蒂斯·W·貝雷;邁克爾·J·亞尼基設計研發完成，并于2019-11-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本利用邊緣環升降的動態鞘控制在說明書摘要公布了：基座組件包含用于支撐襯底的基座。中央軸在操作期間將基座定位于一定高度。環沿著基座的周緣而放置。環調整器次組件包含設置在中央軸的中間區段周圍的調整器凸緣。次組件包含連接至調整器凸緣且從調整器凸緣延伸至設置于基座下方的調整器板的套管。次組件包含連接至調整器板且從調整器板豎直延伸的環調整器銷。環調整器銷中的每一者在鄰近基座直徑且在其外部的位置定位于調整器板上。環調整器銷接觸環的邊緣下表面。調整器凸緣耦合于至少三個調整器致動器，以用于限定環相對于基座的頂部表面的升高和傾斜。
本發明授權利用邊緣環升降的動態鞘控制在權利要求書中公布了：1.一種基座組件，其包含： 用于支撐襯底的基座，所述基座由中央軸支撐，所述中央軸在操作期間將所述基座定位在一定高度； 環，其配置成沿著所述基座的周緣而放置；以及 環調整器次組件，其包含： 調整器板； 調整器凸緣，其設置在所述中央軸的中間區段周圍； 套管，其連接至所述調整器凸緣，并且從所述調整器凸緣延伸至設置在所述基座下方的所述調整器板并且圍繞所述中央軸； 多個環調整器銷，其在鄰近所述基座的直徑的對應位置連接至所述調整器板，且所述多個環調整器銷從所述調整器板豎直向上定向并位于所述基座的所述直徑的外側，其中所述多個環調整器銷配置成接觸所述環的邊緣下表面； 其中所述調整器凸緣耦合于由一個或多個控制器控制的至少三個調整器致動器，所述控制器被配置為升高或降低所述調整器凸緣的相應部分，并且所述調整器凸緣、所述至少三個調整器致動器和所述一個或多個控制器組合起來被布置為使所述調整器板傾斜并相應地限定所述環相對于所述基座的頂部表面的升高或傾斜，以控制所述環的內緣和所述基座之間的電容。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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