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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利工藝腔室中工位位置的校準(zhǔn)方法、半導(dǎo)體工藝設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112530850B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011406983.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)工藝腔室中工位位置的校準(zhǔn)方法、半導(dǎo)體工藝設(shè)備是由呂嘉文設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-04向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本工藝腔室中工位位置的校準(zhǔn)方法、半導(dǎo)體工藝設(shè)備在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)實(shí)施例提供了工藝腔室中工位位置的校準(zhǔn)方法、半導(dǎo)體工藝設(shè)備，該方法包括：利用傳輸裝置將校準(zhǔn)件放置到預(yù)設(shè)位置，利用校準(zhǔn)裝置將校準(zhǔn)件旋轉(zhuǎn)至預(yù)設(shè)朝向，其中，校準(zhǔn)件包括多個(gè)開孔，多個(gè)開孔與工藝腔室中卡盤上的多個(gè)頂針一一對(duì)應(yīng)的設(shè)置，開孔的側(cè)壁呈錐形，用于容納頂針；利用傳輸裝置將旋轉(zhuǎn)至預(yù)設(shè)朝向的校準(zhǔn)件傳入工藝腔室，使校準(zhǔn)件位于卡盤的上方，升起多個(gè)頂針，控制傳輸裝置下降，將多個(gè)頂針分別導(dǎo)入多個(gè)所述開孔中，由多個(gè)頂針支撐校準(zhǔn)件；利用傳輸裝置將校準(zhǔn)件傳出工藝腔室，并利用校準(zhǔn)裝置檢測(cè)相對(duì)于預(yù)設(shè)位置校準(zhǔn)件在預(yù)設(shè)方向上的偏移量；基于偏移量對(duì)當(dāng)前的工位位置進(jìn)行校準(zhǔn)，得到校準(zhǔn)后的工位位置。

本發(fā)明授權(quán)工藝腔室中工位位置的校準(zhǔn)方法、半導(dǎo)體工藝設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種工藝腔室中工位位置的校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法包括： 利用傳輸裝置將校準(zhǔn)件放置到預(yù)設(shè)位置，利用校準(zhǔn)裝置將所述校準(zhǔn)件旋轉(zhuǎn)至預(yù)設(shè)朝向，其中，所述校準(zhǔn)件包括多個(gè)開孔，多個(gè)所述開孔與工藝腔室中卡盤上的多個(gè)頂針一一對(duì)應(yīng)的設(shè)置，所述開孔的側(cè)壁呈錐形，用于容納所述頂針； 利用傳輸裝置將旋轉(zhuǎn)至所述預(yù)設(shè)朝向的所述校準(zhǔn)件傳入所述工藝腔室，使所述校準(zhǔn)件位于所述卡盤的上方，升起多個(gè)所述頂針，控制所述傳輸裝置下降，將多個(gè)所述頂針分別導(dǎo)入多個(gè)所述開孔中，由多個(gè)所述頂針支撐所述校準(zhǔn)件； 利用所述傳輸裝置將所述校準(zhǔn)件傳出所述工藝腔室，并利用所述校準(zhǔn)裝置檢測(cè)相對(duì)于所述預(yù)設(shè)位置所述校準(zhǔn)件在預(yù)設(shè)方向上的偏移量；所述偏移量基于所述頂針在所述開孔的錐形側(cè)壁作用下，帶動(dòng)所述校準(zhǔn)件形成； 基于所述偏移量對(duì)當(dāng)前的工位位置進(jìn)行校準(zhǔn)，得到校準(zhǔn)后的工位位置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。