買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州納維科技有限公司申請(qǐng)的專利氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III-V族化合物單晶的方法及設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115679441B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110862495.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B25/02；該發(fā)明授權(quán)氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III-V族化合物單晶的方法及設(shè)備是由蔡德敏;徐琳;張波;沈振華設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-07-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III-V族化合物單晶的方法及設(shè)備在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III?V族化合物單晶的方法及設(shè)備。所述方法包括：將III元素源、氮源與載氣輸入HVPE反應(yīng)腔室內(nèi)，并依次經(jīng)過(guò)所述反應(yīng)腔室內(nèi)的第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域，分別將所述反應(yīng)腔室第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域的調(diào)節(jié)至第一溫度、第二溫度和第三溫度，使所述III元素源與氮源于所述第一區(qū)域發(fā)生反應(yīng)而形成III氮化物單晶，使III元素源與氫氣于第二區(qū)域發(fā)生反應(yīng)而形成III元素單質(zhì)，使氮源與鹵素氫化物于第三區(qū)域發(fā)生反應(yīng)而形成銨鹽。本發(fā)明實(shí)施例提供的一種氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III族氮化物單晶的方法，提高了III族氮化物單晶的產(chǎn)量和純度，并能回收III族元素單質(zhì)，降低了III族氮化物單晶的制備成本。

本發(fā)明授權(quán)氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III-V族化合物單晶的方法及設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氫化物氣相外延法生長(zhǎng)III-V族化合物單晶的方法，其特征在于包括：將第一源物質(zhì)和第二源物質(zhì)輸入反應(yīng)腔室，所述第一源物質(zhì)包含III族元素，所述第二源物質(zhì)包含V族元素，通過(guò)將反應(yīng)腔室內(nèi)第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域分別設(shè)置為不同溫度，使第一源物質(zhì)與第二源物質(zhì)在反應(yīng)腔室的第一區(qū)域進(jìn)行反應(yīng)生成III-V族化合物單晶及第一副產(chǎn)物，并使至少部分的第一副產(chǎn)物與未反應(yīng)的第一源物質(zhì)在第二區(qū)域進(jìn)行反應(yīng)生成可回收的III族元素單質(zhì)和第二副產(chǎn)物，以及使至少部分的第一副產(chǎn)物和或至少部分的第二副產(chǎn)物與未反應(yīng)的第二源物質(zhì)在第三區(qū)域進(jìn)行反應(yīng)生成可回收產(chǎn)物，其中，所述第一區(qū)域包括III-V族化合物單晶生長(zhǎng)區(qū)和沿徑向包圍III-V族化合物單晶生長(zhǎng)區(qū)的周邊區(qū)，所述III-V族化合物單晶生長(zhǎng)區(qū)被設(shè)置為適合生成III-V族化合物單晶的溫度，所述周邊區(qū)的溫度高于III-V族化合物單晶生長(zhǎng)區(qū)的溫度，所述第二區(qū)域的溫度被設(shè)置為高于所述可回收產(chǎn)物的形成溫度且低于第一源物質(zhì)的分解溫度，所述第三區(qū)域的溫度被設(shè)置為不高于所述可回收產(chǎn)物的分解溫度。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州納維科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)20幢518室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。