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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利半導體工藝設(shè)備及其壓力調(diào)節(jié)裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114203593B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111488970.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)半導體工藝設(shè)備及其壓力調(diào)節(jié)裝置是由張波;楊慧萍;閆曉騰設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-12-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導體工藝設(shè)備及其壓力調(diào)節(jié)裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種半導體工藝設(shè)備及其壓力調(diào)節(jié)裝置，所公開的壓力調(diào)節(jié)裝置包括殼體、壓力調(diào)節(jié)閥芯組件和驅(qū)動機構(gòu)，其中：所述殼體具有連通設(shè)置的內(nèi)腔和氣體通道，所述氣體通道開設(shè)有進氣口和排氣口，所述進氣口用于與所述半導體工藝設(shè)備的排氣管道連通；所述驅(qū)動機構(gòu)設(shè)于所述內(nèi)腔中，所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件設(shè)置于所述內(nèi)腔與所述氣體通道的連通處；所述驅(qū)動機構(gòu)與所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件連接，所述驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件運動，以使所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件調(diào)節(jié)所述氣體通道的通氣開度。上述方案可以解決壓力調(diào)節(jié)閥芯組件與殼體在連接處密封失效時造成壓力調(diào)節(jié)裝置調(diào)壓失效的問題。

本發(fā)明授權(quán)半導體工藝設(shè)備及其壓力調(diào)節(jié)裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導體工藝設(shè)備的壓力調(diào)節(jié)裝置（700），其特征在于，包括殼體（100）、壓力調(diào)節(jié)閥芯組件（200）和驅(qū)動機構(gòu)（300），其中： 所述殼體（100）具有連通設(shè)置的內(nèi)腔（110）和氣體通道（111），所述氣體通道（111）開設(shè)有進氣口（120）和排氣口（130），所述進氣口（120）用于與所述半導體工藝設(shè)備的排氣管道（400）連通，所述排氣口（130）與廠務端連通，所述殼體（100）的其它部分均與外部環(huán)境隔絕；所述驅(qū)動機構(gòu)（300）設(shè)于所述內(nèi)腔（110）中，所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件（200）設(shè)置于所述內(nèi)腔（110）與所述氣體通道（111）的連通處；所述驅(qū)動機構(gòu)（300）與所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件（200）連接，所述驅(qū)動機構(gòu)（300）用于驅(qū)動所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件（200）運動，以使所述壓力調(diào)節(jié)閥芯組件（200）調(diào)節(jié)所述氣體通道（111）的通氣開度。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。