株式會社斯庫林集團福田浩士獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利繪制裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115729050B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210803271.5,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權繪制裝置是由福田浩士設計研發完成,并于2022-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本繪制裝置在說明書摘要公布了:繪制裝置1的繪制頭移動機構42使頭單元43沿著頭移動路徑在第1繪制位置與第2繪制位置之間水平移動。氣體送出部5沿著頭移動路徑配置。氣體送出部5的氣體流路51沿著頭移動路徑從第1繪制位置延伸到第2繪制位置。氣體送出口設于氣體流路51的與頭單元43相對的部位,朝向頭罩44的氣體流入口送出氣體。送出位置切換部將氣體送出口的位置在與位于第1繪制位置的頭單元43相對的第1送出位置、和與位于第2繪制位置的頭單元43相對的第2送出位置之間切換。由此,能夠良好地調節沿著頭移動路徑移動的繪制頭的溫度。
本發明授權繪制裝置在權利要求書中公布了:1.一種繪制裝置,針對基板進行繪制,其特征在于,具備: 基板保持部,其將基板以水平狀態保持; 基板移動機構,其使所述基板保持部沿著基板移動路徑水平移動; 頭單元,其具有配置于所述基板保持部的上方并對所述基板照射光而繪制圖案的繪制頭、和在內部收容所述繪制頭的頭罩; 繪制頭移動機構,其使所述頭單元沿著在俯視下與所述基板移動路徑交叉的頭移動路徑在第1頭位置與第2頭位置之間水平移動;以及 氣體送出部,其沿著所述頭移動路徑配置,在所述頭單元位于所述第1頭位置及所述第2頭位置中的任一位置的情況下,都能夠向所述頭罩的內部供給溫度調節后的氣體, 所述氣體送出部具備: 氣體流路,其沿著所述頭移動路徑從所述第1頭位置延伸到所述第2頭位置,并且供所述氣體流動; 氣體送出口,其設于所述氣體流路的與所述頭單元相對的部位,朝向所述頭罩的氣體流入口送出所述氣體;以及 送出位置切換部,其將所述氣體送出口的位置在與位于所述第1頭位置的所述頭單元相對的第1送出位置、和與位于所述第2頭位置的所述頭單元相對的第2送出位置之間進行切換。
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