合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司劉軍獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司申請(qǐng)的專利顯示基板及其制造方法、顯示裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115440783B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202211201204.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10K59/12;該發(fā)明授權(quán)顯示基板及其制造方法、顯示裝置是由劉軍;周斌;蘇同上;孫濤;馬宇軒;王海東設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本顯示基板及其制造方法、顯示裝置在說(shuō)明書摘要公布了:提供了一種顯示基板及其制造方法、顯示裝置,屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域。該方法中,首先可以在隔離區(qū)形成沿遠(yuǎn)離襯底的方向依次層疊的金屬膜層和絕緣膜層。然后可以采用一張掩膜板,對(duì)絕緣膜層和部分金屬膜層進(jìn)行第一刻蝕處理,形成第一絕緣層、第一金屬層和覆蓋第一絕緣層和部分第一金屬層側(cè)壁的絡(luò)合物層。再然后可以直接以絡(luò)合物層為遮擋部,對(duì)第一金屬層進(jìn)行第二刻蝕處理,得到上寬下窄具有尖端角的阻隔結(jié)構(gòu)。因在第一刻蝕處理時(shí),僅刻蝕了厚度較小的部分金屬膜層,故使得僅在第一金屬層的部分側(cè)壁上形成了絡(luò)合物層,進(jìn)而使得可以在不采用掩膜板的基礎(chǔ)上,對(duì)第一金屬層進(jìn)行可靠的第二刻蝕處理,得到良率較好的阻隔結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)對(duì)外界水汽的可靠阻擋。
本發(fā)明授權(quán)顯示基板及其制造方法、顯示裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種顯示基板的制作方法,其特征在于,所述方法包括: 提供襯底,所述襯底具有隔離區(qū); 在所述隔離區(qū),形成位于所述襯底一側(cè)且沿遠(yuǎn)離所述襯底的方向依次層疊的金屬膜層和絕緣膜層; 沿靠近所述襯底的方向,采用一張掩膜板依次對(duì)所述絕緣膜層和所述金屬膜層中的部分膜層進(jìn)行下述干法刻蝕處理:采用第一刻蝕氣體,對(duì)所述絕緣膜層進(jìn)行干法刻蝕處理,形成第一絕緣層;采用第二刻蝕氣體,對(duì)所述金屬膜層中的部分膜層進(jìn)行干法刻蝕處理,形成第一金屬層,以及覆蓋所述第一絕緣層的側(cè)壁和屬于所述第一金屬層的部分膜層的側(cè)壁的絡(luò)合物層,所述金屬膜層中,所述部分膜層的厚度小于除所述部分膜層外的其余膜層的厚度; 直接以所述絡(luò)合物層為遮擋部,采用刻蝕溶液,對(duì)所述第一金屬層進(jìn)行濕法刻蝕處理,形成第二金屬層,所述第二金屬層靠近所述第一絕緣層的部分的寬度大于遠(yuǎn)離所述第一絕緣層的部分的寬度,且小于所述第一絕緣層的寬度; 去除所述絡(luò)合物層,得到阻隔結(jié)構(gòu),所述阻隔結(jié)構(gòu)包括所述第二金屬層和所述第一絕緣層。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司,其通訊地址為:230012 安徽省合肥市新站區(qū)工業(yè)園內(nèi);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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