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龍圖騰網(wǎng)獲悉徐州博康信息化學(xué)品有限公司申請(qǐng)的專利一種正性光刻膠組合物及其制備與使用方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115421354B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211201501.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/004；該發(fā)明授權(quán)一種正性光刻膠組合物及其制備與使用方法是由傅志偉;王文毅;吳信;朱玉呈;戴文超;梅崇余;潘新剛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種正性光刻膠組合物及其制備與使用方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種正性光刻膠組合物及其制備與使用方法，所述光刻膠組合物包括如下質(zhì)量百分比的各組分：聚合物樹脂，光刻膠組合物總質(zhì)量的15～25％；萘酰亞胺類光致產(chǎn)酸劑，聚合物樹脂的1.0～6.0％；酸擴(kuò)散控制劑，萘酰亞胺類光致產(chǎn)酸劑的8～40％；流平劑，光刻膠組合物總質(zhì)量的0.1～0.5％；溶劑，補(bǔ)足百分百；所述聚合物樹脂包括第一聚合物樹脂和第二聚合物樹脂。制備方法包括以下步驟：將正性光刻膠組合物的各組分混合。使用方法包括以下步驟：將正性光刻膠組合物涂布在硅片上，依次經(jīng)過前烘、曝光、后烘和顯影，得到光刻圖案。本發(fā)明提供的正性光刻膠組合物可以有效降低駐波效應(yīng)，增加光刻膠圖形側(cè)壁的垂直性，提高光刻膠成像的分辨率。

本發(fā)明授權(quán)一種正性光刻膠組合物及其制備與使用方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種正性光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物包括如下質(zhì)量百分比的各組分： 所述聚合物樹脂包括第一聚合物樹脂和第二聚合物樹脂；所述第一聚合物樹脂為羥基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和丙烯酸叔丁酯化合物的共聚物；所述第二聚合物樹脂為羥基苯乙烯化合物、縮醛保護(hù)的羥基苯乙烯化合物和如通式I化合物的共聚物； 所述通式I化合物所示結(jié)構(gòu)如下： 式I中，P1為氫原子或C1～C4的烷基；P2、P3和P4各自獨(dú)立地為C1～C10的烷基，且P2、P3和P4中至少有一個(gè)為C4～C10的環(huán)烷基或P2、P3和P4任意兩個(gè)可以鍵結(jié)形成環(huán)； 所述通式I化合物選自以下結(jié)構(gòu)中的至少一種：

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人徐州博康信息化學(xué)品有限公司，其通訊地址為：221003 江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。