浙江大學肖剛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江大學申請的專利超臨界晶圓清洗/干燥介質回收方法以及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115739844B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211338918.8，技術領域涉及：B08B7/00；該發明授權超臨界晶圓清洗/干燥介質回收方法以及系統是由肖剛;王征;劉亞飛;祝培旺設計研發完成，并于2022-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本超臨界晶圓清洗/干燥介質回收方法以及系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種超臨界晶圓清洗干燥介質回收方法以及系統，能夠實現超臨界態介質的分離回收以及循環利用。本發明提供的一種超臨界晶圓清洗干燥介質回收方法包括以下步驟：清洗干燥步驟，利用超臨界態介質溶解并帶走晶圓上的溶劑；分離步驟，將所述清洗干燥步驟得到的所述超臨界態介質轉化為氣態介質，將氣態介質與溶劑進行氣液分離；供氣步驟，對氣態介質加壓升溫，得到超臨界態介質，以供給清洗干燥步驟使用的所述超臨界態介質。
本發明授權超臨界晶圓清洗/干燥介質回收方法以及系統在權利要求書中公布了：1.一種超臨界晶圓清洗干燥介質回收方法，其特征在于，包括以下步驟： 清洗干燥步驟，利用超臨界態介質溶解并帶走晶圓上附著的溶劑，所述超臨界態介質為超臨界態二氧化碳，所述溶劑為易溶于超臨界態介質的有機溶劑； 減壓步驟，降低所述清洗干燥步驟后的所述超臨界態介質與所述溶劑的混合物的壓力，得到混合溶液；所述減壓步驟中的所述混合溶液的壓力為1～5MPa，溫度小于20℃，二氧化碳處于亞臨界狀態，此時，二氧化碳與所述溶劑不互溶； 升溫步驟，加熱所述混合溶液，得到氣態介質以及液態溶劑，所述升溫步驟中的所述氣態介質的溫度為0～30℃； 氣液分離步驟，將所述氣態介質與所述液態溶劑進行氣液分離； 供氣步驟，將所述氣液分離步驟得到的所述氣態介質和或外部氣源供給的外部介質進行加壓升溫，以得到所述超臨界態介質，供給所述清洗干燥步驟使用； 壓力調整步驟，將所述氣液分離步驟得到的所述氣態介質進行加壓輸送，并在所述供氣步驟前將加壓后的所述氣態介質的壓力調整至與所述外部介質的壓力相同。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學，其通訊地址為：310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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