之江實驗室;浙江大學陳智獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉之江實驗室;浙江大學申請的專利光學各向異性晶體納米孔的濕法輔助-飛秒激光加工方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115815793B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211398957.7,技術領域涉及:B23K26/0622;該發明授權光學各向異性晶體納米孔的濕法輔助-飛秒激光加工方法是由陳智;鐘理京;王宇瑩;楊弈;許貝貝;劉小峰;譚德志;馬志軍;邱建榮設計研發完成,并于2022-11-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本光學各向異性晶體納米孔的濕法輔助-飛秒激光加工方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種光學各向異性晶體納米孔的濕法輔助?飛秒激光加工方法。在目標加工物的光學各向異性晶體上通過光學接觸放置更厚的光學各向同性晶體作為球差增強輔助物,飛秒激光透射經過球差增強輔助物后入射并聚焦到目標加工物內產生自聚焦拉絲效應,而誘導材料局域改性成納米拉絲誘導區域;再用特定酸性溶液濕法刻蝕,納米拉絲誘導區域被刻蝕形成孔徑可控、高深?徑比的納米孔。本發明可對任意光學各向異性晶體內部三維空間進行誘導加工,還可調節制備高深?徑比的納米孔結構,克服了傳統方法只能在材料表面加工低深?徑比的納米孔結構缺點,制備更小尺寸、均一、可控的納米孔結構,具有高效、穩定、低廉的三維空間可控的納米加工特點。
本發明授權光學各向異性晶體納米孔的濕法輔助-飛秒激光加工方法在權利要求書中公布了:1.一種光學各向異性晶體納米孔的濕法輔助-飛秒激光加工方法,其特征在于,方法針對所需加工的一塊光學各向異性晶體作為目標加工物,具體包括以下過程: 首先在目標加工物的一側上光學接觸放置比目標加工物厚度更厚的另一塊光學各向同性晶體作為球差增強輔助物,施加從球差增強輔助物到目標加工物方向的飛秒激光透射經過球差增強輔助物后入射并聚焦到目標加工物的內部,進而在目標加工物的光學各向異性晶體內部自聚焦拉絲誘導材料局域改性而形成納米拉絲誘導區域,飛秒激光采用不同曝光脈沖個數; 然后將目標加工物采用酸性溶液濕法刻蝕,使得納米拉絲誘導區域被刻蝕形成孔徑可控、高深-徑比的納米孔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人之江實驗室;浙江大學,其通訊地址為:311121 浙江省杭州市余杭區之江實驗室南湖總部;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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