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龍圖騰網獲悉南京工程學院申請的專利基于離焦圖像的晶圓表面缺陷識別方法、存儲介質和電子設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116485706B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211587661.X，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權基于離焦圖像的晶圓表面缺陷識別方法、存儲介質和電子設備是由何睿清;周鑫宇;郝飛;張慧;何余杰;朱超涵;宋佳潼設計研發完成，并于2022-12-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于離焦圖像的晶圓表面缺陷識別方法、存儲介質和電子設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于離焦圖像的晶圓表面缺陷識別方法包括如下步驟：一，讀取離焦晶圓表面缺陷的原始圖像；二，使用離散傅里葉變換，得到頻域圖像；三，用高斯低通濾波器來獲得不均勻光照的背景，得到晶圓光照背景頻域圖像；四，使用傅里葉反變換，得到在空間域的背景圖像；五，在原始圖像上減去背景圖像，得到晶圓圖像；六，選用中值濾波去噪；七，使用分水嶺算法進行圖像分割，并進行區域合并；八，進行區域分析，采用粗篩選加精篩選的方法進行缺陷區域的識別。本發明對于不同光照場景下的晶圓圖像，使用自適應背景估計方法能去除圖像光照背景，便于后續處理；采用分水嶺算法進行分割，減少相似干擾區域；使用聯合篩選方法，增加識別效果。

本發明授權基于離焦圖像的晶圓表面缺陷識別方法、存儲介質和電子設備在權利要求書中公布了：1.一種基于離焦圖像的晶圓表面缺陷識別方法，其特征在于，包括如下步驟： 步驟一，讀取離焦晶圓表面缺陷的原始圖像fx,y，其像素大小為M×N，M為原始圖像的寬度，N為原始圖像的長度； 步驟二，對于原始圖像使用離散傅里葉變換，得到頻域圖像Fu,v； 步驟三，用高斯低通濾波器Hu,v來獲得所述頻域圖像Fu,v中不均勻光照的背景；保留頻域圖像Fu,v中的低頻信息，得到晶圓光照背景頻域圖像Gu,v； 步驟四，使用傅里葉反變換，得到晶圓光照背景頻域圖像Gu,v在空間域的晶圓光照背景圖像gx,y； 步驟五，在空域中，在原始圖像fx,y上減去所述晶圓光照背景圖像gx,y，得到背景去除的晶圓圖像hx,y；公式為：hx,y＝fx,y-gx,y； 步驟六，選用中值濾波作為圖像去噪方法對晶圓圖像去噪； 步驟七，對去噪后的晶圓圖像使用分水嶺算法進行圖像分割，得到圖像的預分割結果，并對該結果進行區域合并； 步驟八，對分割并合并后的晶圓圖像，進行區域分析，并采用粗篩選加精篩選的聯合篩選方法來進行缺陷區域的識別。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京工程學院，其通訊地址為：211167 江蘇省南京市江寧區科學園弘景大道1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。