常州大學夏新棟獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉常州大學申請的專利基于單目測距的探針臺對針高度測量方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116358424B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310302381.8，技術領域涉及：G01B11/06；該發明授權基于單目測距的探針臺對針高度測量方法是由夏新棟;楊彪;蘭昊;姜豐;戚璐璐;謝陳明玥;楊長春;王睿設計研發完成，并于2023-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于單目測距的探針臺對針高度測量方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種基于單目測距的探針臺對針高度測量方法，包括：S1，對載片臺上的晶圓進行精準定位，使晶圓的晶粒位于定焦相機的聚集位置附近；S2，升降所述載片臺，改變物距，拍攝多張晶圓圖像，通過平方梯度函數找到最清晰的晶圓圖像，作為聚集像；S3，將所述載片臺保持在得到所述聚集像的高度，微幅改變定焦相機的像距，拍攝至少兩幅不同程度的散焦像；S4，基于其中兩幅散焦像的參數，通過高斯分布的點擴散函數，計算得到所述聚集像的物距u；S5，基于所述聚集像的物距u及探針自由端與對焦相機之間的高度差得到對針高度。本發明測量精度高，使得探針臺可精確對針。
本發明授權基于單目測距的探針臺對針高度測量方法在權利要求書中公布了：1.一種基于單目測距的探針臺對針高度測量方法，其特征在于， 包括： S1，對載片臺上的晶圓進行精準定位，使晶圓的晶粒位于定焦相機的聚集位置附近； S2，升降所述載片臺，改變物距，拍攝多張晶圓圖像，通過平方梯度函數找到最清晰的晶圓圖像，作為聚集像； S3，將所述載片臺保持在得到所述聚集像的高度，微幅改變定焦相機的像距，拍攝至少兩幅不同程度的散焦像； S4，基于其中兩幅散焦像的參數，通過高斯分布的點擴散函數，計算得到所述聚集像的物距； S5，基于所述聚集像的物距及探針自由端與對焦相機之間的高度差得到對針高度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人常州大學，其通訊地址為：213000 江蘇省常州市武進區湖塘鎮滆湖中路21號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號