中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所凌小倫獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所申請(qǐng)的專利原子力顯微鏡懸臂探針及其制作方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN116519979B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202310587119.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01Q60/38;該發(fā)明授權(quán)原子力顯微鏡懸臂探針及其制作方法是由凌小倫;徐耿釗;劉爭(zhēng)暉;張春玉;張珽設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2023-05-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本原子力顯微鏡懸臂探針及其制作方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明公開(kāi)了一種原子力顯微鏡懸臂探針及其制作方法,原子力顯微鏡懸臂探針包括:探針懸臂,探針針尖以及溫敏結(jié)構(gòu)。所述探針懸臂上形成有壓敏結(jié)構(gòu);所述探針針尖形成于所述探針懸臂的一端;所述溫敏結(jié)構(gòu)形成于所述探針針尖上且延伸至所述探針懸臂上。本發(fā)明的原子力顯微鏡懸臂探針,是一種應(yīng)用于原子力顯微鏡的、具備熱學(xué)測(cè)量功能的新型自傳感懸臂探針,在原子力顯微鏡技術(shù)上,利用壓阻懸臂探針或壓容懸臂探針結(jié)合熱敏電阻或熱電偶結(jié)構(gòu)來(lái)研究納米尺度溫度分布。
本發(fā)明授權(quán)原子力顯微鏡懸臂探針及其制作方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種原子力顯微鏡懸臂探針,其特征在于,包括: 探針懸臂,所述探針懸臂上形成有壓敏結(jié)構(gòu),所述壓敏結(jié)構(gòu)包括第三金屬引線電極; 探針針尖,形成于所述探針懸臂的一端; 溫敏結(jié)構(gòu),形成于所述探針針尖上且延伸至所述探針懸臂上,所述溫敏結(jié)構(gòu)包括第二金屬引線電極; 所述探針懸臂上形成有第一金屬引線電極,所述第一金屬引線電極位于所述壓敏結(jié)構(gòu)和所述溫敏結(jié)構(gòu)之間且與所述壓敏結(jié)構(gòu)和所述溫敏結(jié)構(gòu)均不連通設(shè)置;所述壓敏結(jié)構(gòu)的第三金屬引線電極和所述溫敏結(jié)構(gòu)的第二金屬引線電極之間由所述第一金屬引線電極進(jìn)行信號(hào)隔離; 所述壓敏結(jié)構(gòu)和所述溫敏結(jié)構(gòu)之間形成有絕緣層; 所述絕緣層完全覆蓋所述壓敏結(jié)構(gòu)。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所,其通訊地址為:215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路398號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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