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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州電子科技大學(xué)申請(qǐng)的專利可自校準(zhǔn)的SOI基MEMS三維力傳感器及其制備工藝獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116789073B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310614318.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81B7/02；該發(fā)明授權(quán)可自校準(zhǔn)的SOI基MEMS三維力傳感器及其制備工藝是由董林璽;胡夢(mèng)宜;俞挺;劉超然;楊偉煌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-05-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本可自校準(zhǔn)的SOI基MEMS三維力傳感器及其制備工藝在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種可自校準(zhǔn)的SOI基MEMS三維力傳感器及其制備工藝。本發(fā)明包括MEMS器件層以及鍵合于MEMS器件層下方的襯底；所述MEMS器件層包括凸臺(tái)、錨點(diǎn)、錨區(qū)、中心板、四根位于中心板四周的L型壓電驅(qū)動(dòng)梁和十二個(gè)pad；所述襯底包括鍵合區(qū)域、空腔、導(dǎo)電襯墊和八個(gè)固定金屬電極。本發(fā)明為敏感元件增加驅(qū)動(dòng)模塊與多電容檢測(cè)模塊，從而保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性并節(jié)省額外的校準(zhǔn)成本，本發(fā)明在實(shí)現(xiàn)自校準(zhǔn)的同時(shí)，采用三維集成的方式，直接利用SOI的圓片做外部封裝。

本發(fā)明授權(quán)可自校準(zhǔn)的SOI基MEMS三維力傳感器及其制備工藝在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.可自校準(zhǔn)的SOI基MEMS三維力傳感器，其特征在于：包括MEMS器件層以及鍵合于MEMS器件層下方的襯底； 所述MEMS器件層包括凸臺(tái)、錨點(diǎn)、錨區(qū)、中心板、四根位于中心板四周的L型壓電驅(qū)動(dòng)梁和十二個(gè)pad； 所述凸臺(tái)位于所述錨點(diǎn)上方，用作三維力檢測(cè)時(shí)的受力結(jié)構(gòu)； 所述中心板和所述錨區(qū)均位于錨點(diǎn)下方，且在同一平面上；中心板用作電容檢測(cè)的可動(dòng)上極板，通過(guò)錨點(diǎn)與凸臺(tái)連接； 單根所述L型壓電驅(qū)動(dòng)梁自上而下包括L型硅梁、驅(qū)動(dòng)下電極Pt、壓電材料PZT以及兩個(gè)分布式驅(qū)動(dòng)上電極Pt，L型壓電驅(qū)動(dòng)梁的一端固定在中心板邊界的中心位置，另一端固定在錨區(qū)；其余部分均懸空；所述的兩個(gè)分布式驅(qū)動(dòng)上電極Pt用于施加等大反向的電壓，直接為三維力傳感器內(nèi)部的敏感元件提供驅(qū)動(dòng)激勵(lì)； 所述十二個(gè)pad位于MEMS器件層錨區(qū)的四周，與壓電驅(qū)動(dòng)梁的分布式驅(qū)動(dòng)上電極Pt在同一平面； 所述襯底包括鍵合區(qū)域、空腔、導(dǎo)電襯墊和八個(gè)固定金屬電極； 所述鍵合區(qū)域與MEMS器件層的錨區(qū)圖案一致，翻轉(zhuǎn)的MEMS器件層的錨區(qū)與其下方襯底的鍵合區(qū)域?qū)?zhǔn)接觸，形成電容傳感的密閉空間； 所述空腔用于形成壓電驅(qū)動(dòng)梁和中心板的活動(dòng)空間； 所述八個(gè)固定金屬電極分布于空腔內(nèi)，中心板作為電容檢測(cè)的共用可動(dòng)上極板，與襯底空腔內(nèi)的八個(gè)固定金屬電極形成電容對(duì)，其中中心板的對(duì)角線區(qū)域?qū)?yīng)襯底上四個(gè)固定金屬電極A、B、C、D，形成力檢測(cè)電容CA、CB、CC、CD；中心板的對(duì)稱軸區(qū)域?qū)?yīng)襯底上十字分布的固定金屬電極E、F、G、H，形成自校準(zhǔn)檢測(cè)電容CE、CF、CG、CH。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人杭州電子科技大學(xué)，其通訊地址為：310018 浙江省杭州市下沙高教園區(qū)2號(hào)大街；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。