大連皓宇電子科技有限公司范震獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉大連皓宇電子科技有限公司申請的專利一種應用于晶圓生產設備的多通道射頻電流檢測裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223272588U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421721958.5，技術領域涉及：G01R19/00；該實用新型一種應用于晶圓生產設備的多通道射頻電流檢測裝置是由范震;徐家慶;唐麗娜設計研發完成，并于2024-07-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種應用于晶圓生產設備的多通道射頻電流檢測裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種應用于晶圓生產設備的多通道射頻電流檢測裝置，包括：通道選擇器和檢測電路；電路輸出端與選擇器輸入端相連；選擇器輸出端與晶圓生產設備相連；檢測電路檢測射頻電流信號，轉換為電壓信號輸出通道選擇器，電路包括檢測傳感器，連接電纜和信號傳輸電路；檢測傳感器檢測射頻電流信號轉換為電壓信號；電纜將電壓信號傳輸到信號傳輸電路；信號傳輸電路包括信號接收電路和信號轉換輸出電路；接收電路用于接收電壓信號；轉換輸出電路用于放大電壓信號，輸出到通道選擇器；裝置能夠匹配多通道的6寸PECVD設備，選擇不同數量的通道，實時檢測射頻電源是否輸入到腔室內，確定是否向腔體內輸入氣體，保證晶圓生產質量，減少生產浪費。
本實用新型一種應用于晶圓生產設備的多通道射頻電流檢測裝置在權利要求書中公布了：1.一種應用于晶圓生產設備的多通道射頻電流檢測裝置，其特征在于，包括：通道選擇器和多個相互獨立的檢測電路； 所述多個相互獨立的檢測電路的輸出端與所述通道選擇器的多個輸入端口相連；所述通道選擇器的多個輸出端口與晶圓生產設備相連； 所述通道選擇器用于為晶圓生產設備與所述檢測電路提供連接通道，并能夠按需調整所述連接通道的數量；所述檢測電路用于檢測射頻電流信號，并將所述射頻電流信號轉換為電壓信號輸出至通道選擇器； 所述檢測電路包括檢測傳感器，連接電纜和信號傳輸電路； 所述檢測傳感器為線圈電感，用于檢測設備中的射頻電流信號并將所述射頻電流信號轉換為電壓信號；所述連接電纜用于將所述電壓信號傳輸到所述信號傳輸電路； 所述信號傳輸電路包括信號接收電路和信號轉換輸出電路；所述信號接收電路用于接收所述檢測傳感器傳輸的電壓信號；所述信號轉換輸出電路用于放大所述電壓信號，輸出到通道選擇器。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人大連皓宇電子科技有限公司，其通訊地址為：116000 遼寧省大連市金州區保稅區海興街60-2號1571室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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