新創電子技術(東莞)有限公司萬琳旭獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉新創電子技術(東莞)有限公司申請的專利用于半導體堿蝕刻的轉動機構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223273259U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421936439.0，技術領域涉及：H01L21/687；該實用新型用于半導體堿蝕刻的轉動機構是由萬琳旭設計研發完成，并于2024-08-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于半導體堿蝕刻的轉動機構在說明書摘要公布了：本實用新型涉及半導體蝕刻技術領域，具體涉及用于半導體堿蝕刻的轉動機構，包括基座，基座的上表面設置有升降裝置，升降裝置連接轉動裝置，轉動裝置輸出軸與固定槽連接，固定槽對稱設置在轉動裝置輸出端的兩側。本實用新型克服了現有技術的不足，通過設置固定槽以轉動裝置輸出端軸線為基準對稱，兩個對稱固定槽繞轉動裝置輸出端轉動，固定槽各點處堿液受到相同的攪拌作用，各點保持堿液濃度一致，避免了固定槽以自身為軸轉動時轉動軸沿線附近堿液濃度與邊緣存在差異的問題，有利于提高半導體堿蝕刻各點均勻性，進一步提高產品質量。
本實用新型用于半導體堿蝕刻的轉動機構在權利要求書中公布了：1.用于半導體堿蝕刻的轉動機構，其特征在于：包括基座1，所述基座1的上表面設置有升降裝置2，所述升降裝置2連接轉動裝置3，所述轉動裝置3輸出軸與固定槽4連接，所述固定槽4對稱設置在所述轉動裝置3輸出端的兩側。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人新創電子技術(東莞)有限公司，其通訊地址為：523000 廣東省東莞市長安鎮長安興發南路32號1號樓108室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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