安徽華矽半導體科技有限公司;宣城先進光伏技術有限公司王家奇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽華矽半導體科技有限公司;宣城先進光伏技術有限公司申請的專利一種改進型半導體氣體噴淋頭獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223264024U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422109975.X,技術領域涉及:B05B1/00;該實用新型一種改進型半導體氣體噴淋頭是由王家奇;孫曉東;顧勇;屈長明;曾雯欣;李琴;蔡愛玲;陳占開;郭鐵設計研發完成,并于2024-08-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種改進型半導體氣體噴淋頭在說明書摘要公布了:本實用新型涉及氣體噴淋技術領域,具體涉及一種改進型半導體氣體噴淋頭,應用于氣體噴淋設備,包括筒體,所述筒體的一端固設有內底盤,所述筒體的另一端固設有環形外沿,所述內底盤的內部設有多個孔道,每個所述孔道均傾斜設置,每個所述孔道的兩端均設有進氣口和出氣口,每個所述進氣口均與所述內底盤的頂面連通,每個所述出氣口均與所述內底盤的底面連通,所述筒體的內壁直徑與所述環形外沿的內壁直徑相同,所述筒體用于安裝在所述氣體噴淋設備的噴淋管上,顯著提高了氣體噴淋的均勻性和精度,增強了噴淋頭的耐用性,降低了制造成本和維護難度,為半導體制造行業提供了一種高效、經濟的解決方案。
本實用新型一種改進型半導體氣體噴淋頭在權利要求書中公布了:1.一種改進型半導體氣體噴淋頭,應用于氣體噴淋設備,其特征在于,包括筒體3,所述筒體3的一端固設有內底盤1,所述筒體3的另一端固設有環形外沿2,所述內底盤的內部設有多個孔道4,每個所述孔道4均傾斜設置,每個所述孔道4的兩端均設有進氣口5和出氣口6,每個所述進氣口5均與所述內底盤1的頂面連通,每個所述出氣口6均與所述內底盤1的底面連通,所述筒體3的內壁直徑與所述環形外沿2的內壁直徑相同,所述筒體3用于安裝在所述氣體噴淋設備的噴淋管上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人安徽華矽半導體科技有限公司;宣城先進光伏技術有限公司,其通訊地址為:242000 安徽省宣城市宣城經濟技術開發區清流路99號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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