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龍圖騰網(wǎng)獲悉樂金顯示光電科技(中國)有限公司申請的專利氣相沉積設(shè)備獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223268761U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422628687.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/509；該實用新型氣相沉積設(shè)備是由周向陽設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-10-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本氣相沉積設(shè)備在說明書摘要公布了：本實用新型屬于顯示裝置制造技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種氣相沉積設(shè)備，包括沉積機構(gòu)、進(jìn)料管和預(yù)電離機構(gòu)，沉積機構(gòu)包括沉積室、上電極和下電極，上電極用于連接射頻電源，下電極用于接地并承載待鍍基板；進(jìn)料管用于向上電極輸入反應(yīng)氣體；預(yù)電離機構(gòu)包括第一反應(yīng)腔和電子發(fā)生元件，進(jìn)料管通過第一反應(yīng)腔與上電極連通，電子發(fā)生元件設(shè)置于第一反應(yīng)腔內(nèi)。本實用新型的氣相沉積設(shè)備使反應(yīng)氣體進(jìn)入預(yù)電離機構(gòu)的第一反應(yīng)腔內(nèi)時，部分反應(yīng)氣體能夠與電子發(fā)生元件產(chǎn)生的游離的電子結(jié)合而轉(zhuǎn)變等離子體，而后第一反應(yīng)腔內(nèi)剩余部分未被電離的反應(yīng)氣體和等離子體的混合體再流向上電極內(nèi)繼續(xù)電離，有效提升反應(yīng)氣體的電離度，從而提升反應(yīng)氣體的利用率。

本實用新型氣相沉積設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括： 沉積機構(gòu)，所述沉積機構(gòu)包括沉積室、上電極和下電極，所述上電極與所述下電極沿豎直方向間隔設(shè)置于所述沉積室內(nèi)，且所述上電極用于連接射頻電源，所述下電極用于接地并承載待鍍基板； 進(jìn)料管，所述進(jìn)料管的一端連通外部氣源，所述進(jìn)料管的另一端用于向所述上電極輸入反應(yīng)氣體； 預(yù)電離機構(gòu)，所述預(yù)電離機構(gòu)包括第一反應(yīng)腔和電子發(fā)生元件，所述進(jìn)料管通過所述第一反應(yīng)腔與所述上電極連通，所述電子發(fā)生元件設(shè)置于所述第一反應(yīng)腔內(nèi)，所述電子發(fā)生元件能向所述第一反應(yīng)腔內(nèi)生成電子，所述電子與所述第一反應(yīng)腔內(nèi)的部分所述反應(yīng)氣體預(yù)電離成等離子體。

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