武漢楚興技術有限公司陳世龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉武漢楚興技術有限公司申請的專利一種半導體真空傳輸系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223273229U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422735013.5，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種半導體真空傳輸系統是由陳世龍;李二雷;葉淦設計研發完成，并于2024-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體真空傳輸系統在說明書摘要公布了：本申請公開一種半導體真空傳輸系統，半導體真空傳輸系統包括裝載鎖模塊，裝載鎖模塊包括裝載鎖腔室和設于裝載鎖腔室內的晶圓放置臺，裝載鎖腔室內設有至少一個激光傳感器，激光傳感器用于發射檢測激光，檢測激光在晶圓所在平面形成的線光斑的尺寸大于等于晶圓的直徑。本申請的半導體真空傳輸系統中，激光傳感器能夠對于經過加工處理之前和之后的晶圓都進行完整性檢測，方便快捷，且不會對半導體機臺的傳輸效率造成影響，從而保證了WPH滿足要求。
本實用新型一種半導體真空傳輸系統在權利要求書中公布了：1.一種半導體真空傳輸系統，其特征在于，包括裝載鎖模塊，所述裝載鎖模塊包括裝載鎖腔室和設于所述裝載鎖腔室內的晶圓放置臺，所述裝載鎖腔室內設有至少一個激光傳感器，所述激光傳感器用于發射檢測激光，所述檢測激光在晶圓所在平面形成的線光斑的尺寸大于等于所述晶圓的直徑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人武漢楚興技術有限公司，其通訊地址為：430040 湖北省武漢市東西湖區徑河街網安大道7號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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