中國科學院長春光學精密機械與物理研究所梁旭獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利基于光柵干涉條紋的多自由度測量裝置獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120063129B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202510515081.7,技術領域涉及:G01B11/02;該發(fā)明授權基于光柵干涉條紋的多自由度測量裝置是由梁旭;劉兆武;李文昊;陳丹怡;王瑋;尹志宇設計研發(fā)完成,并于2025-04-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于光柵干涉條紋的多自由度測量裝置在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及光柵干涉測量領域,尤其涉及一種基于光柵干涉條紋的多自由度測量裝置,第一分光棱鏡位于單頻激光光源的出射光路上,用于將激光光束分為參考光和測量光。光學參考元件位于參考光的光路上,用于使參考光返回至第一分光棱鏡。測量光柵位于測量光的光路上,用于接收測量光,并產生衍射光,使衍射光返回至第一分光棱鏡。相機位于第一分光棱鏡的出射光路上,返回至第一分光棱鏡的至少兩束參考光和至少兩束衍射光經過第一分光棱鏡,并入射至相機。相機用于捕獲參考光和衍射光干涉形成的干涉條紋。計算機連接于相機,計算機用于根據(jù)干涉條紋的變化,確定測量光柵的位姿變化。在保證能夠實現(xiàn)多自由度位姿測量的同時,光路結構的設計更加簡單。
本發(fā)明授權基于光柵干涉條紋的多自由度測量裝置在權利要求書中公布了:1.一種基于光柵干涉條紋的多自由度測量裝置,其特征在于,包括: 單頻激光光源,用于出射激光光束; 第一分光棱鏡,位于所述單頻激光光源的出射光路上,用于將所述激光光束分為參考光和測量光; 光學參考元件,位于所述參考光的光路上,用于使所述參考光返回至所述第一分光棱鏡; 測量光柵,位于所述測量光的光路上,用于接收所述測量光,并產生衍射光,使所述衍射光返回至所述第一分光棱鏡;衍射光包括+1級衍射光和-1級衍射光;相機用于捕獲一束所述參考光和所述+1級衍射光干涉形成的第一組干涉條紋,以及另一束所述參考光和所述-1級衍射光干涉形成的第二組干涉條紋; 相機,位于所述第一分光棱鏡的出射光路上,返回至所述第一分光棱鏡的至少兩束所述參考光和至少兩束所述衍射光經過所述第一分光棱鏡,并入射至所述相機;所述相機用于捕獲所述參考光和所述衍射光干涉形成的干涉條紋; 計算機,連接于所述相機,所述計算機用于根據(jù)所述干涉條紋的變化,確定所述測量光柵的位姿變化;所述測量光柵的位姿變化包括角度變化,所述角度變化包括偏航角變化、俯仰角變化和滾轉角變化,所述偏航角變化是指所述測量光柵繞第一方向X進行轉動的角度,所述俯仰角變化是指所述測量光柵繞第三方向Y進行轉動的角度,所述滾轉角變化是指所述測量光柵繞第二方向Z進行轉動的角度;所述計算機用于確定所述干涉條紋的光強分布情況,并對所述干涉條紋進行頻譜分析,以確定當前時刻的所述干涉條紋的當前空間頻率、以及在所述測量光柵處于初始位置的初始時刻的初始空間頻率;根據(jù)所述當前空間頻率和所述初始空間頻率,對所述測量光柵的角度變化進行解算;所述測量光柵的位姿變化包括位移變化,所述位移變化包括所述測量光柵沿第一方向X的位移變化和沿第二方向Z的位移變化;所述計算機用于確定所述干涉條紋的光強分布情況,并對所述干涉條紋進行頻譜分析,以提取當前時刻至初始時刻之間每幀的相位,并對每幀的相位進行解包裹處理,以得到所述當前時刻的所述干涉條紋的當前相位,與所述初始時刻的所述干涉條紋的初始相位的相位差;根據(jù)所述相位差,對所述測量光柵的位移變化進行解算。
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