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龍圖騰網獲悉北京中航科電測控技術股份有限公司申請的專利一種半導體腔體高精密拋光機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120307146B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510806190.4，技術領域涉及：B24B21/00；該發明授權一種半導體腔體高精密拋光機是由金維國;金俊設計研發完成，并于2025-06-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體腔體高精密拋光機在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體加工技術領域，具體地涉及一種半導體腔體高精密拋光機，其包括導軌座、電機、軸套、支板、傳動筒和打磨組件固定連接；所述打磨組件包括支架、保護殼、殼體、收線盒、拼合打磨帶、支撐輥和調節輥。本發明通過調節輥拉拽拼合打磨帶，拼合打磨帶帶動支撐輥上的滑輥二沿著滑槽一滑動，減小打磨組件體積，使打磨組件能夠輕易伸入小口徑的腔體內，增大打磨組件的操作空間，降低打磨組件對腔體磕碰的概率。本發明在縮小打磨組件體積的同時，將粗粒打磨帶切換至細粒打磨帶，通過粗粒打磨帶對小口徑腔體拋光可確保拋光精度，避免小口徑腔體表面粗糙度過高，導致高精度器件的精度降低。

本發明授權一種半導體腔體高精密拋光機在權利要求書中公布了：1.一種半導體腔體高精密拋光機，其特征在于：包括導軌座（1），導軌座（1）與工作臺上的導軌連接，導軌座（1）上安裝電機，電機輸出端固定連接軸套（3），導軌座（1）上安裝支板（2），支板（2）上轉動安裝傳動筒（5），傳動筒（5）與打磨組件（6）固定連接，所述軸套（3）與傳動軸（4）通過滑塊滑槽傳動連接，傳動軸（4）另一端與傳動筒（5）傳動連接； 所述打磨組件（6）包括支架（601）以及分別安裝在支架（601）兩端的保護殼（603）和殼體（604），保護殼（603）內安裝收線盒（605），所述支架（601）內安裝拼合打磨帶（602），支架（601）內分別滑動安裝若干支撐輥（612）和調節輥（613），拼合打磨帶（602）依次穿過支撐輥（612）和調節輥（613）安裝，所述調節輥（613）上安裝滑輥一（615），滑輥一（615）上套設套管（616），套管（616）通過繩索（617）與收線盒（605）內部的收線輥連接，收線盒（605）內部收線輥與傳動套（606）同軸連接，通過推動傳動軸（4），使傳動軸（4）與傳動套（606）傳動連接； 所述支架（601）上分別開設滑槽一（609）和滑槽二（610），支撐輥（612）通過滑輥二（620）與滑槽一（609）滑動連接，所述滑槽一（609）內安裝壓簧（621），壓簧（621）與滑輥二（620）連接，所述調節輥（613）通過滑輥一（615）與滑槽二（610）滑動連接； 所述滑槽二（610）內開設有外槽（611），外槽（611）內置齒條（619），滑輥一（615）上安裝齒環（618），齒環（618）與齒條（619）傳動連接，所述拼合打磨帶（602）由粗粒打磨帶（6021）和細粒打磨帶（6022）組成； 所述傳動套（606）內安裝電磁吸盤一（607），傳動軸（4）上安裝磁性金屬塊（608），電磁吸盤一（607）吸附磁性金屬塊（608）；當電磁吸盤一（607）通電后，電磁吸盤一（607）吸附磁性金屬塊（608），使傳動軸（4）向傳動套（606）內移動，此時傳動軸（4）與傳動套（606）傳動連接；當電磁吸盤一（607）斷電后，傳動軸（4）復位，使傳動軸（4）重新與傳動筒（5）傳動連接。

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