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龍圖騰網(wǎng)獲悉南京埃米儀器科技有限公司申請的專利一種小型精密運動臺獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN120428527B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510931843.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權一種小型精密運動臺是由請求不公布姓名設計研發(fā)完成，并于2025-07-07向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本一種小型精密運動臺在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種小型精密運動臺，包括大理石基臺和固定底座，還包括微動臺、柔性連接組件和微動調平組件，大理石基臺上表面連接有微動臺和驅動微動臺移動的X軸驅動結構、Y軸驅動結構，X軸驅動結構上通過固定底座連接Y軸驅動結構，Y軸驅動結構上安裝有誤差讀取結構，Y軸驅動結構通過柔性連接組件連接微動臺，微動臺包括玻璃基臺、上載臺、下載臺和提高微動臺穩(wěn)定性的微動調平組件，微動調平組件安裝在下載臺上，下載臺內設置有冷卻結構，玻璃基臺上設置有用于散熱和清理誤差讀取結構上顆粒物的吹掃機構。優(yōu)點，球面支撐，點接觸，柔性連接阻隔部分振動的傳導，提升穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權一種小型精密運動臺在權利要求書中公布了：1.一種小型精密運動臺，包括大理石基臺（1）和固定底座（7），其特征在于：還包括微動臺（2）、柔性連接組件（5）和微動調平組件（6），大理石基臺（1）上表面連接有微動臺（2）和驅動微動臺（2）移動的X軸驅動結構（4）、Y軸驅動結構（3），X軸驅動結構（4）上通過固定底座（7）連接Y軸驅動結構（3），Y軸驅動結構（3）上設置有誤差讀取結構（8），Y軸驅動結構（3）通過柔性連接組件（5）連接微動臺（2），微動臺（2）包括玻璃基臺（23）、上載臺（22）、下載臺（21）和提高微動臺（2）穩(wěn)定性的微動調平組件（6），微動調平組件（6）設置在下載臺（21）上，微動調平組件（6）上端支撐上載臺（22），下載臺（21）內設置有冷卻結構（9），下載臺（21）設置在玻璃基臺（23）上方，玻璃基臺（23）設在固定底座（7）上，玻璃基臺（23）上設置有用于散熱和清理誤差讀取結構（8）上顆粒物的吹掃機構（10）； 微動調平組件（6）包括一個固定支撐球（61）、兩個可調節(jié)的支撐球結構（62）和四個彈簧（63），上載臺（22）和下載臺（21）相對應的三個角通過一個固定支撐球（61）、兩個可調節(jié)的支撐球結構（62）和四個彈簧（63）非剛性連接； 在下載臺（21）上表面一組斜對角分別設置一個可調節(jié)的支撐球結構（62）和一個彈簧（63），可調節(jié)的支撐球結構（62）靠近彈簧（63），在下載臺（21）的另一個角上設置固定支撐球（61），固定支撐球（61）兩側邊分別設置一個彈簧（63），可調節(jié)的支撐球結構（62）和固定支撐球（61）上端支撐上載臺（22），上載臺（22）下表面對應固定支撐球（61）的位置設置有便于設置固定支撐球（61）的連接槽，上載臺（22）下表面設置有用于水平調節(jié)的斜臺（221），斜臺（221）與支撐球結構（62）接觸，每個斜臺（221）的位置分別對應一個可調節(jié)的支撐球結構（62）； 可調節(jié)的支撐球結構（62）包括調節(jié)頂絲（621）、微型電機、軸套（622）、移動支撐球（623）和導向槽（624），下載臺（21）上表面設置有導向槽（624），下載臺（21）上表面角落設置有調節(jié)頂絲（621），調節(jié)頂絲（621）兩端分別連接微型電機和移動支撐球（623），微型電機驅動調節(jié)頂絲（621）轉動，使移動支撐球（623）在導向槽（624）內移動，且與斜臺（221）配合調節(jié)上載臺（22）高度，調節(jié)頂絲（621）上設置有軸套（622），軸套（622）上設置有用于提高自鎖能力的細牙螺紋。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人南京埃米儀器科技有限公司，其通訊地址為：211899 江蘇省南京市江北新區(qū)研創(chuàng)園華富路1號數(shù)智溪谷科創(chuàng)廣場2號5層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。