佳能特機株式會社石井博獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佳能特機株式會社申請的專利成膜裝置及使用其的有機EL顯示裝置的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116043181B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310121870.3，技術領域涉及：C23C14/50；該發明授權成膜裝置及使用其的有機EL顯示裝置的制造方法是由石井博;柏倉一史設計研發完成，并于2018-07-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本成膜裝置及使用其的有機EL顯示裝置的制造方法在說明書摘要公布了：本發明的成膜裝置包含基板保持單元和靜電吸盤，所述基板保持單元包含用于支承基板的周緣部的支承部，所述靜電吸盤設置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含設置于第一方向的第一支承部件和以與所述第一支承部件相對的方式設置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件和所述第二支承部件分別能夠在各自的基板支承面支承基板的方向上位移。
本發明授權成膜裝置及使用其的有機EL顯示裝置的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種成膜裝置，用于經由掩模在基板上進行成膜，其中， 包含： 基板保持單元，所述基板保持單元包含支承所述基板的第一邊的周緣部的第一支承部件、和支承所述基板的與所述第一邊相對的第二邊的周緣部的第二支承部件； 靜電吸盤，所述靜電吸盤設置在所述基板的上方，用于吸附所述基板；以及 驅動部，用于驅動所述基板保持單元以及所述靜電吸盤， 所述第一支承部件與所述第二支承部件分別具有基板支承面部和軸部，所述軸部經由彈性體部與所述基板支承面部連接， 所述第一支承部件與所述第二支承部件的各自的所述基板支承面部由于構成所述彈性體部的板簧的彈性變形，相對于所述軸部在與所述靜電吸盤的吸附面交叉的方向上彈性地位移， 所述第一支承部件和所述第二支承部件的各自的所述基板支承面部的位移軸和彈性體部的位移軸在與基板面平行的方向上相互分離， 所述第一支承部件和所述第二支承部件分別包含引導基板支承面部的位移的引導部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人佳能特機株式會社，其通訊地址為：日本新瀉縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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