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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社迪思科申請的專利加工方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111613528B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010106408.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/302；該發(fā)明授權(quán)加工方法是由包家亙設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-02-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本加工方法在說明書摘要公布了：提供加工方法，縮短被加工物的加工時(shí)間。利用具有對被加工物進(jìn)行保持的保持工作臺和噴射加工液的噴射噴嘴的加工裝置對設(shè)定有沿著第1方向的第1加工預(yù)定線和沿著第2方向的第2加工預(yù)定線的被加工物進(jìn)行加工，加工方法具有如下步驟：第1定位步驟，使被加工物的第1方向與加工進(jìn)給方向一致并將噴射噴嘴定位于第1加工預(yù)定線的一端；第1加工步驟，利用加工液沿著第1加工預(yù)定線對被加工物進(jìn)行加工；以及第2定位步驟，使保持工作臺旋轉(zhuǎn)而使被加工物的第2方向與加工進(jìn)給方向一致，并且將噴射噴嘴定位于第2加工預(yù)定線的一端，在第2定位步驟中，按照在保持工作臺的旋轉(zhuǎn)中加工液被持續(xù)噴射至被加工物的方式使保持工作臺和噴射噴嘴相對地移動(dòng)。

本發(fā)明授權(quán)加工方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種加工方法，利用加工裝置對被加工物進(jìn)行加工， 該加工裝置具有： 保持工作臺，其具有對該被加工物進(jìn)行保持的保持面； 噴射噴嘴，其對該保持工作臺所保持的被加工物噴射加工液； 加工進(jìn)給單元，其使該保持工作臺和該噴射噴嘴沿著加工進(jìn)給方向相對地移動(dòng)；以及 旋轉(zhuǎn)單元，其使該保持工作臺繞沿著與該保持面垂直的方向的軸旋轉(zhuǎn)， 該被加工物在正面上設(shè)定有沿著第1方向的第1加工預(yù)定線以及沿著與該第1方向交叉的第2方向的第2加工預(yù)定線， 其特征在于， 該加工方法具有如下的步驟： 保持步驟，利用該保持工作臺對該被加工物進(jìn)行保持； 第1定位步驟，在實(shí)施了該保持步驟之后，利用該旋轉(zhuǎn)單元使該保持工作臺旋轉(zhuǎn)而使該被加工物的該第1方向與該加工進(jìn)給方向一致，并且將該噴射噴嘴定位于該第1加工預(yù)定線的一端； 第1加工步驟，在實(shí)施了該第1定位步驟之后，開始從該噴射噴嘴噴射加工液，然后使該保持工作臺和該噴射噴嘴沿著該加工進(jìn)給方向相對地移動(dòng)，從而利用該加工液沿著該第1加工預(yù)定線對該被加工物進(jìn)行加工； 第2定位步驟，在實(shí)施了該第1加工步驟之后，利用該旋轉(zhuǎn)單元使該保持工作臺旋轉(zhuǎn)而使該被加工物的該第2方向與該加工進(jìn)給方向一致，并且將該噴射噴嘴定位于該第2加工預(yù)定線的一端；以及 第2加工步驟，在實(shí)施了該第2定位步驟之后，使該保持工作臺和該噴射噴嘴沿著該加工進(jìn)給方向相對地移動(dòng)，利用從該噴射噴嘴噴射的該加工液沿著該第2加工預(yù)定線對該被加工物進(jìn)行加工， 該被加工物在開口被粘接帶封住的環(huán)狀框架的該開口中粘貼于該粘接帶， 在該第2定位步驟中，按照在該保持工作臺的旋轉(zhuǎn)中該加工液被持續(xù)噴射至該被加工物而不直接噴射至該被加工物以外的物體上的方式使該保持工作臺和該噴射噴嘴相對地移動(dòng)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社迪思科，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。