富士膠片株式會社榎本雄一郎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉富士膠片株式會社申請的專利圖案形成方法、感光性樹脂組合物、層疊體的制造方法及半導體器件的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114514470B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080070827.3，技術領域涉及：G03F7/027；該發明授權圖案形成方法、感光性樹脂組合物、層疊體的制造方法及半導體器件的制造方法是由榎本雄一郎;中村敦設計研發完成，并于2020-10-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本圖案形成方法、感光性樹脂組合物、層疊體的制造方法及半導體器件的制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種所獲得的圖案的形狀優異的圖案形成方法、用于上述圖案形成方法的感光性樹脂組合物、包括上述圖案形成方法的層疊體的制造方法及包括上述圖案形成方法的電子器件的制造方法。圖案形成方法包括：第一區域曝光工序，對由感光性樹脂組合物構成的感光膜的一部分區域即第一區域進行選擇性曝光；第二區域曝光工序，對第二區域進行選擇性曝光；及顯影工序，對上述第二區域曝光工序后的感光膜進行顯影，包含在上述第一區域中的至少一部分區域和包含在上述第二區域中的至少一部分區域為共同區域，上述感光性樹脂組合物包含特定的樹脂及感光劑。
本發明授權圖案形成方法、感光性樹脂組合物、層疊體的制造方法及半導體器件的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種圖案形成方法，其包括： 第一區域曝光工序，對由感光性樹脂組合物構成的感光膜的一部分區域即第一區域進行選擇性曝光； 第二區域曝光工序，對所述第一區域曝光工序后的感光膜的一部分區域即第二區域進行選擇性曝光；及 顯影工序，對所述第二區域曝光工序后的感光膜進行顯影， 包含在所述第一區域中的至少一部分區域和包含在所述第二區域中的至少一部分區域為共同區域， 包含在所述第一區域及所述第二區域這兩者中的區域的面積相對于所述第一區域的總面積的比例為50～100%， 所述感光性樹脂組合物包含選自聚酰亞胺、聚酰亞胺前體、聚苯并噁唑及聚苯并噁唑前體中的至少1種樹脂、以及感光劑， 所述感光劑為光自由基聚合引發劑或光產酸劑， 當所述感光劑為光自由基聚合引發劑時，所述樹脂具有自由基聚合性基團，所述感光性樹脂組合物進一步包含自由基交聯劑，另外，當所述感光劑為光產酸劑時，所述樹脂具有酸分解性基， 包括在所述顯影工序之前的對感光膜的一部分區域進行曝光的工序中，作為某一曝光工序的結束至另一曝光工序的開始為止的時間且不包括其他曝光工序的時間為0.1秒以上。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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