株式會社斯庫林集團小野行雄獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利熱處理裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115668455B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202180035426.9，技術領域涉及：H01L21/26；該發(fā)明授權熱處理裝置是由小野行雄;山田隆泰;阿部誠設計研發(fā)完成，并于2021-05-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本熱處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種熱處理裝置。在保持成為處理對象的半導體晶片的晶座，豎立設置有多個襯底支持銷。多個襯底支持銷等間隔地設置成圓環(huán)狀。對由多個襯底支持銷支持的半導體晶片，從閃光燈照射閃光來加熱所述半導體晶片。從閃光燈照射的閃光的脈寬越短，那么越增大設置有多個襯底支持銷的設置圓的直徑。如果在通過這樣的多個襯底支持銷支持半導體晶片的狀態(tài)下照射閃光，那么即便因閃光照射而半導體晶片急劇變形，仍可防止半導體晶片的破裂。
本發(fā)明授權熱處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種熱處理裝置，通過對襯底照射閃光來加熱所述襯底，且包含： 腔室，收容襯底； 晶座，在所述腔室內保持所述襯底； 多個支持銷，設置在所述晶座，支持所述襯底；以及 閃光燈，對受所述晶座保持的所述襯底照射閃光； 所述晶座上的所述多個支持銷的設置位置根據從所述閃光燈照射的閃光的脈寬而不同；且 所述多個支持銷在所述晶座上設置成圓環(huán)狀， 所述脈寬越短，那么設置有所述多個支持銷的設置圓的直徑越大； 所述設置圓為設置成圓環(huán)狀的所述多個支持銷形成的圓。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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